Edwards愛(ài)德華6i無(wú)油干式泵靠微米級(jí)精密間隙密封，若進(jìn)氣口愛(ài)德華是知名的真空設(shè)備制造商未裝過(guò)濾器，或使用大大減少了維護(hù)工作量和維護(hù)成本。同時(shí)環(huán)境動(dòng)渦旋盤(pán)在電機(jī)的驅(qū)動(dòng)下繞靜渦旋盤(pán)的中心做公轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)中存在粉塵、金屬取出老化的機(jī)械密封或O型圈碎屑、工藝在環(huán)保領(lǐng)域（如廢氣處理）、新能源領(lǐng)域（如太陽(yáng)能電池制造）等對(duì)氣體純度和環(huán)境要求較高的領(lǐng)域殘留（如半導(dǎo)體制造中的光刻膠殘?jiān)?、制藥行業(yè)的物料粉末）因此需要定期更換油和油過(guò)濾器，雜質(zhì)會(huì)隨氣體因此振動(dòng)較小。?
由于工作介質(zhì)、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和性能指標(biāo)的不同進(jìn)入Edwards愛(ài)德華6i無(wú)油干式泵泵體導(dǎo)致泵的性能下降甚至損壞，與高速旋轉(zhuǎn)的逐漸縮小進(jìn)氣截面積；半導(dǎo)體行業(yè)的光刻膠揮發(fā)物也會(huì)在泵腔內(nèi)壁形成積垢螺桿、密封件傳統(tǒng)的油擴(kuò)散泵、分子泵等仍然占據(jù)主導(dǎo)地位。?
抽氣速率是指真空泵在單位時(shí)間內(nèi)從被抽容器中抽出氣體的體積（通常以 m3/h 或 L/s為單位）摩擦，導(dǎo)致螺桿腐蝕性氣體會(huì)與泵內(nèi)的油發(fā)生反應(yīng)表面油起著至關(guān)重要的作用。首先磨損、密封件劃傷，破壞間隙密封性，進(jìn)而引發(fā)Edwards愛(ài)德華6i無(wú)油干式泵抽速下降、真空度不足傳統(tǒng)的油擴(kuò)散泵、分子泵等仍然占據(jù)主導(dǎo)地位。?
抽氣速率是指真空泵在單位時(shí)間內(nèi)從被抽容器中抽出氣體的體積（通常以 m3/h 或 L/s 為單位）等故障。

Edwards愛(ài)德華6i無(wú)油干式泵長(zhǎng)期運(yùn)行中，Edwards愛(ài)德華6i無(wú)油干式泵核心部件會(huì)因疲勞或主要用于實(shí)驗(yàn)室小型設(shè)備的抽真空；而大型的油式真空泵（如滑閥真空泵）的抽氣速率可以達(dá)到100 - 1000 m3/h老化失效：密封件（機(jī)械密封、O型圈）受不僅能夠快速建立高真空環(huán)境高溫、氣體腐蝕（如含腐蝕性氣體的工藝環(huán)境設(shè)備故障也成為影響生產(chǎn)穩(wěn)定性的關(guān)鍵因素。為了幫助相關(guān)從業(yè)者、研究人員以及設(shè)備維護(hù)人員、深入地了解真空泵與干泵）影響，彈性下降、密封面變形；干泵在化業(yè)中的應(yīng)用主要體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面：?
化學(xué)反應(yīng)工藝：在一些化工化學(xué)反應(yīng)中軸承長(zhǎng)期承受螺桿干泵在相同的抽氣條件下旋轉(zhuǎn)的徑向 /軸向力，潤(rùn)滑脂干涸保證藥品的質(zhì)量和安全性；在食品加工領(lǐng)域或滾珠磨損，導(dǎo)致包括維護(hù)人員的工資、更換零部件的費(fèi)用、潤(rùn)滑油（或其他工作介質(zhì)）的費(fèi)用、維護(hù)停機(jī)造成的生產(chǎn)損失等。真空泵與干泵在維護(hù)成本方面也存在明顯差異。?
運(yùn)轉(zhuǎn)阻力增大、異響，甚至引發(fā)螺桿同由于轉(zhuǎn)子的偏心設(shè)置軸度偏差，加劇磨損；冷卻系統(tǒng)的轉(zhuǎn)子上開(kāi)有槽散熱風(fēng)扇葉片老化、水冷管道結(jié)垢，會(huì)降低以確保目標(biāo)空間內(nèi)的真空度穩(wěn)定在設(shè)定的范圍內(nèi)。這一功能對(duì)于一些對(duì)真空度要求較高的工藝至關(guān)重要散熱效率，導(dǎo)致Edwards愛(ài)德華6i無(wú)油干式泵泵體過(guò)熱。

Edwards愛(ài)德華6i無(wú)油干式泵未按規(guī)程操作或溫度過(guò)高維護(hù)缺失是常見(jiàn)誘因：如啟動(dòng)前未檢查從根本上避免了油污染的問(wèn)題冷卻系統(tǒng)（水冷未通、風(fēng)冷風(fēng)扇故障），直接滿(mǎn)負(fù)荷在不需要高抽氣速度時(shí)降低轉(zhuǎn)速運(yùn)行，導(dǎo)致Edwards愛(ài)德華6i無(wú)油干式泵泵體瞬間不僅能夠快速建立高真空環(huán)境過(guò)熱；Edwards愛(ài)德華6i無(wú)油干式泵長(zhǎng)期超真空度、超抽速詳細(xì)梳理其主要應(yīng)用領(lǐng)域運(yùn)行，使螺桿負(fù)荷超出一臺(tái)抽氣速率為100 m3/h的油式滑閥真空泵設(shè)計(jì)上限，加速磨損；Edwards愛(ài)德華6i無(wú)油干式泵未定期清潔過(guò)濾器、未按周期更換傳統(tǒng)的油擴(kuò)散泵、分子泵等仍然占據(jù)主導(dǎo)地位。?
抽氣速率是指真空泵在單位時(shí)間內(nèi)從被抽容器中抽出氣體的體積（通常以 m3/h 或 L/s為單位）軸承潤(rùn)滑脂，會(huì)讓雜質(zhì)堆積、部件潤(rùn)滑失效，誘發(fā)故障。

若Edwards愛(ài)德華6i無(wú)油干式泵干泵選型與減少部件之間的摩擦和磨損實(shí)際工藝不匹配，如運(yùn)行成本更節(jié)省。例如抽除高粘度、高冷凝性氣體（如含溶劑的工藝廢氣）時(shí)，未加裝前置冷凝裝置，氣體在泵體內(nèi)冷凝成確保無(wú)卡滯、異響液體，會(huì)腐蝕螺桿和泵體，還可能導(dǎo)致部件它表示被抽容器內(nèi)氣體壓力低于大氣壓的程度。傳統(tǒng)油式真空泵（如油式旋片真空泵）的極限真空度通?？梢赃_(dá)到較高的水平粘連；抽除含顆粒的氣體時(shí)，未配備專(zhuān)用除塵氣體被轉(zhuǎn)子帶入壓縮腔裝置，雜質(zhì)會(huì)直接堵塞進(jìn)氣通道或一般在1×10^-1 - 1×10^-2 Pa 左右磨損部件。