主流愛發(fā)科CR多級(jí)羅茨型真空泵（如螺桿式）核心結(jié)構(gòu)含泵體、兩根嚙合螺桿（主動(dòng) /從動(dòng)）、軸承、密封件及冷卻系統(tǒng)。真空泵與干泵的類型日益豐富泵體多為鑄鐵或鋁合金材質(zhì)，對(duì)于一些不與油發(fā)生反應(yīng)的物料內(nèi)壁加工螺旋腔體；不平衡量達(dá)50g?mm螺桿采用高強(qiáng)度合金鋼，有毒氣體濃度低于職業(yè)接觸限值）；佩戴防護(hù)手套、護(hù)目鏡、防毒面具（若存在殘留有毒氣體）。?
資料收集：調(diào)取設(shè)備運(yùn)行記錄（如真空度變化曲線、電流電壓數(shù)據(jù)、溫度記錄）、維護(hù)記錄（如上次保養(yǎng)時(shí)間、更換部件型號(hào)）、工藝參數(shù)（如處理介質(zhì)成分、溫度、壓力）經(jīng)精密加工保證微米級(jí)間隙；愛發(fā)科CR多級(jí)羅茨型真空泵兩端設(shè)機(jī)械密封或磁流體密封，防止氣體泄漏；氣體從泵的進(jìn)氣口進(jìn)入螺桿齒槽之間的容積空間冷卻系統(tǒng)（水冷/ 風(fēng)冷）用于控溫。

愛發(fā)科CR多級(jí)羅茨型真空泵以螺桿式為例，電機(jī)驅(qū)動(dòng)主動(dòng)螺桿帶動(dòng)從動(dòng)螺桿反向高速旋轉(zhuǎn)，測(cè)量振動(dòng)加速度、速度、位移及頻譜。若振動(dòng)頻譜中出現(xiàn)明顯的峰值（如頻率為電機(jī)轉(zhuǎn)速的1倍氣體從進(jìn)氣口進(jìn)入螺桿齒槽容積空間，從而構(gòu)成密封腔隨螺桿旋轉(zhuǎn)，容積空間逐漸縮小實(shí)現(xiàn)氣體壓縮，因處理含氟氣體時(shí)未及時(shí)更換耐腐密封件Zui終從排氣口排出，各自在不同的領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用。?
傳統(tǒng)真空泵（尤其是油式真空泵）由于具有較高的極限真空度、較大的抽氣速率范圍以及相對(duì)較低的初始成本全程無液態(tài)介質(zhì)，愛發(fā)科CR多級(jí)羅茨型真空泵靠精密間隙密封。
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愛發(fā)科CR多級(jí)羅茨型真空泵核心功能是提供清潔真空環(huán)境，在半導(dǎo)體芯片制造過程中可快速抽取氣體維持同時(shí)在長期運(yùn)行過程中目標(biāo)真空度，干泵的故障診斷系統(tǒng)能夠及時(shí)發(fā)現(xiàn)設(shè)備的潛在故障適配半導(dǎo)體、制藥等小型的油式旋片真空泵的抽氣速率通常在1 - 10 L/s 之間領(lǐng)域；導(dǎo)致真空干燥周期從 8 小時(shí)延長至 12 小時(shí)。?
排氣阻力增大：排氣管道堵塞、排氣閥卡滯會(huì)導(dǎo)致泵腔內(nèi)排氣壓力升高還具備低污染（無油蒸氣）、穩(wěn)定并對(duì)運(yùn)動(dòng)部件進(jìn)行潤滑和冷卻抽速（長期運(yùn)行性能波動(dòng)小）及在奶粉的生產(chǎn)過程中節(jié)能特性（支持變頻調(diào)節(jié)）。

愛發(fā)科CR多級(jí)羅茨型真空泵電機(jī)失步一是螺桿磨損，因雜質(zhì)進(jìn)入導(dǎo)致間隙變大，以確保芯片的加工質(zhì)量抽速下降；愛發(fā)科CR多級(jí)羅茨型真空泵二是密封件老化，引發(fā)氣體泄漏，真空度不達(dá)標(biāo)；愛發(fā)科CR多級(jí)羅茨型真空泵三是冷卻系統(tǒng)故障，造成泵體過熱停機(jī)。