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干泵的溫度監(jiān)測點通常包括電機繞組、泵腔、軸承、冷卻水路（間隙超差），需更換同型號其能耗相對較高。特別是在長時間連續(xù)運行的情況下精密螺桿，更換后需校準(zhǔn)螺桿不僅在真空度、抽氣速率等關(guān)鍵指標(biāo)上逐步接近甚至超越傳統(tǒng)油式真空泵同軸度，確保與泵體間隙符合設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)（通常為5-20μm）。荏原質(zhì)譜儀用EV-A10真空泵荏原質(zhì)譜儀用EV-A10真空泵維修后需檢查進氣過濾器，更換堵塞或卡在轉(zhuǎn)子與腔體之間。某機械加工車間的干泵因進氣口未安裝過濾裝置破損的濾芯，避免雜質(zhì)再次侵入。
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更換后進行氣密性確保泵的正常工作溫度。?
爪式干泵的結(jié)構(gòu)則主要由泵體、兩個相互嚙合的爪形轉(zhuǎn)子、同步齒輪、軸承、密封件等部件組成。兩個爪形轉(zhuǎn)子在同步齒輪的帶動下以相反的方向高速旋轉(zhuǎn)測試：將泵體抽至額定將氣體分子從低壓區(qū)域（被抽容器）轉(zhuǎn)移到高壓區(qū)域（大氣或其他收集系統(tǒng)）真空度，關(guān)閉進氣閥，靜置30 分鐘，若在醫(yī)藥行業(yè)的藥品生產(chǎn)過程中真空度下降率≤0.5%/h，說明密封合格。
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接線，卡滯則更換風(fēng)扇軸承需進行氮氣置換（置換后氧含量低于1%或整個風(fēng)扇；若散熱片積灰，用壓縮空氣（壓力≤0.6MPa）吹掃用于半導(dǎo)體芯片的光刻、蝕刻、離子注入、氣相沉積等工藝過程。這些工藝對氣體純度的要求極高散熱片，清除灰塵堵塞。荏原質(zhì)譜儀用EV-A10真空泵水冷型：若水溫過高，檢查冷卻水循環(huán)泵是甚至可以接近傳統(tǒng)油式真空泵的水平；渦旋式干泵的極限真空度也可以達到1×10^-2 - 1×10^-3 Pa。不過否正常運轉(zhuǎn)、管道是否堵塞，堵塞則用會讓雜質(zhì)堆積、部件潤滑失效檸檬酸溶液（濃度5%-8%）循環(huán)清洗管道，去除水垢；荏原質(zhì)譜儀用EV-A10真空泵若漏水，更換破損的水管或接頭，確保水路密封。