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適用產(chǎn)業(yè):半導(dǎo)體照明(LED)、半導(dǎo)體材料、MEMS,集成電路、半導(dǎo)體分立器件、有機(jī)發(fā)光二級(jí)管(OLED)等; 控制模式:手動(dòng)控制模式、自動(dòng)控制模式; 制程應(yīng)用:濕法清洗顯影制程; 適用對(duì)象:2-12inch硅片、藍(lán)寶石基片,2-4 cassette/ Batch,25 Pcs/cassette; 選配模塊:顯影液恒溫系統(tǒng);顯影液循環(huán)過濾系統(tǒng);全自動(dòng)供液系統(tǒng);消防系統(tǒng);可結(jié)合客戶端通訊協(xié)定資料儲(chǔ)存、CIM系統(tǒng)、資料分析儲(chǔ)存建立管理; 功能描述:動(dòng)作程序要求:原點(diǎn)上料,按啟動(dòng),機(jī)械手旋轉(zhuǎn)搬運(yùn)cassette至顯影槽(POS.1)液體內(nèi),上下運(yùn)動(dòng)、頻率、時(shí)間可調(diào),漂(顯影液)時(shí)間到,旋轉(zhuǎn)搬運(yùn)cassette至QDR槽(POS.2)內(nèi)沖水漂洗,靜止等待(或上下運(yùn)動(dòng)、頻率可調(diào))時(shí)間可調(diào),清洗時(shí)間到,報(bào)警提示(此時(shí)花籃在水內(nèi)不升起)按復(fù)位,機(jī)械手旋轉(zhuǎn)到QDR槽(POS.2)上方后Zui后取cassette, 整體布置:設(shè)備前側(cè)上料,前側(cè)下料;本體上面裝有控制面板,每個(gè)工藝過程可獨(dú)立控制;設(shè)備采用密封結(jié)構(gòu),配有可拆卸的活動(dòng)門;本體后(上)方頂部設(shè)有風(fēng)道; 本體下方為管路區(qū); 結(jié)構(gòu)構(gòu)造: 設(shè)備主體; 傳送系統(tǒng); 混液系統(tǒng); 循環(huán)系統(tǒng); 過濾系統(tǒng); 排風(fēng)系統(tǒng); 電氣控制系統(tǒng);設(shè)備制造:北京華林嘉業(yè)科技有限公司(CGB).
硅片腐蝕機(jī) , 晶圓清洗機(jī) , 晶圓單片清洗機(jī) , 石英管清洗機(jī) , 全自動(dòng)下蠟機(jī)
半導(dǎo)體設(shè)備、平板顯示設(shè)備、太陽能...
半導(dǎo)體設(shè)備、平板顯示設(shè)備、太陽能光伏設(shè)備、環(huán)保水處理設(shè)備、自動(dòng)化設(shè)備及上述設(shè)備相關(guān)零部件的設(shè)計(jì)、研發(fā)、生產(chǎn)、加工、組裝、銷售,并提供相關(guān)設(shè)備安裝工程的技術(shù)服務(wù);自營和代理上述商品及技術(shù)的進(jìn)出口業(yè)務(wù);技術(shù)推廣、技術(shù)開發(fā)、技術(shù)轉(zhuǎn)讓;經(jīng)濟(jì)貿(mào)易咨詢(投資、金融、證券、期貨、基金、貴金屬除外);...
大正華嘉科技(香河)有限公司(簡(jiǎn)稱CGB),公司總部坐落于北京行政副中心。我們的目標(biāo)是建立一座現(xiàn)代化花園式工廠。CGB主要從事半導(dǎo)體、平板顯示等領(lǐng)域濕法制程設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售。 產(chǎn)品性能處于國內(nèi)行業(yè)領(lǐng)先地位,并逐漸接近國際行業(yè)先進(jìn)水平。我們嚴(yán)格按照國際質(zhì)量管理體系標(biāo)準(zhǔn),對(duì)研發(fā)、生產(chǎn)、服務(wù)進(jìn)行全方位、全過程管理。公司注重持續(xù)創(chuàng)新和技術(shù)改進(jìn),依托本地化的制造基礎(chǔ)和便捷服務(wù)、國際化的經(jīng)營理念和人才團(tuán)隊(duì)、先進(jìn)的工藝 試驗(yàn)條件和暢通的零部件供...