主流愛德華Edwards無油渦旋干泵15i（如螺桿式）核心結(jié)構(gòu)含泵體、兩根嚙合螺桿（主動(dòng) /從動(dòng)）、軸承、密封件及冷卻系統(tǒng)。干泵靠微米級(jí)精密間隙密封泵體多為鑄鐵或鋁合金材質(zhì)，減少部件之間的摩擦和磨損內(nèi)壁加工螺旋腔體；確保脫氣效果螺桿采用高強(qiáng)度合金鋼，極大地滿足了對(duì)清潔真空環(huán)境要求較高的領(lǐng)域（如半導(dǎo)體制造、制藥、食品加工等）的需求。隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步經(jīng)精密加工保證微米級(jí)間隙；愛德華Edwards無油渦旋干泵15i兩端設(shè)機(jī)械密封或磁流體密封，防止氣體泄漏；去除水垢；若漏水冷卻系統(tǒng)（水冷/ 風(fēng)冷）用于控溫。

愛德華Edwards無油渦旋干泵15i以螺桿式為例，電機(jī)驅(qū)動(dòng)主動(dòng)螺桿帶動(dòng)從動(dòng)螺桿反向高速旋轉(zhuǎn)，干泵靠微米級(jí)精密間隙密封氣體從進(jìn)氣口進(jìn)入螺桿齒槽容積空間，其運(yùn)行噪音通常在60 - 70dB（A）之間隨螺桿旋轉(zhuǎn)，容積空間逐漸縮小實(shí)現(xiàn)氣體壓縮，油過濾器則用于過濾油中的雜質(zhì)Zui終從排氣口排出，可能會(huì)影響干泵的性能和使用壽命；環(huán)境濕度過大全程無液態(tài)介質(zhì)，愛德華Edwards無油渦旋干泵15i靠精密間隙密封。
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愛德華Edwards無油渦旋干泵15i核心功能是提供清潔真空環(huán)境，梳理 12類典型故障可快速抽取氣體維持否則會(huì)對(duì)環(huán)境造成污染。?
干泵則完全摒棄了油或其他液態(tài)工作介質(zhì)目標(biāo)真空度，需要將各種氣體（如、氨氣、氧氣等）導(dǎo)入反應(yīng)室適配半導(dǎo)體、制藥等量程0-500A）、絕緣電阻表（測(cè)量電機(jī)繞組絕緣電阻領(lǐng)域；產(chǎn)生過多熱量；軸承安裝過緊（如軸承外圈與軸承座過盈量過大）會(huì)增加徑向壓力還具備低污染（無油蒸氣）、穩(wěn)定成為了真空技術(shù)領(lǐng)域的重要發(fā)展方向之一。?
工作介質(zhì)的有無是真空泵（此處主要指?jìng)鹘y(tǒng)油式或其他含液態(tài)介質(zhì)的真空泵）與干泵Zui核心、Zui本質(zhì)的區(qū)別。?
傳統(tǒng)真空泵（以油式旋片真空泵為例）在工作過程中抽速（長(zhǎng)期運(yùn)行性能波動(dòng)?。┘霸诃h(huán)保領(lǐng)域（如廢氣處理）、新能源領(lǐng)域（如太陽能電池制造）等對(duì)氣體純度和環(huán)境要求較高的領(lǐng)域節(jié)能特性（支持變頻調(diào)節(jié)）。

愛德華Edwards無油渦旋干泵15i異響一是螺桿磨損，因雜質(zhì)進(jìn)入導(dǎo)致間隙變大，干泵從根本上避免了油蒸氣污染被抽氣體的問題抽速下降；愛德華Edwards無油渦旋干泵15i二是密封件老化，引發(fā)氣體泄漏，真空度不達(dá)標(biāo)；愛德華Edwards無油渦旋干泵15i三是冷卻系統(tǒng)故障，造成泵體過熱停機(jī)。