luphoscan非接觸三維形貌測量儀
luphoscan是基于mwli(多波長干涉)技術的非接觸三維形貌掃描測量系統(tǒng)，它能夠?qū)崿F(xiàn)高精度、非接觸的光學元件面形測量，包括測量旋轉(zhuǎn)對稱的各種球面、非球面、平面、自由曲面等。

測量原理
利用mwli（多波長干涉）點傳感器連續(xù)測量傳感器到被測件的距離。被測件放置在一個可360度旋轉(zhuǎn)的平臺上，兩個線性平臺（水平(r)及垂直(z）)用來控制mwli傳感器。在標準操作模式下，傳感器垂直于被測表面，同時沿著樣件對應的理想的輪廓移動完成面形掃描，由此產(chǎn)生的點狀圖即顯示了可能出現(xiàn)的任何偏差和缺陷 從而完成了對面形的測試。
測量精度
利用參考傳感器及獨特的補償系統(tǒng)，實現(xiàn)了系統(tǒng)的高精度測量。通過補償系統(tǒng)，實現(xiàn)了對測量傳感器的連續(xù)定位，并補償了r，z及t軸的機械誤差。配合超高精度的mwli傳感器技術，luphoscan系統(tǒng)保證了在整個測量區(qū)的面形精度優(yōu)于50nm。
應用
luphoscan干涉儀可以用于測量旋轉(zhuǎn)對稱表面的面形，其坐標軸的布局允許它測量大非球面的元件及頂狀元件，除此之外，還能實現(xiàn)對垂直表面高度的測量，甚至信號中斷之后也可以繼續(xù)測量。這樣可以實現(xiàn)透射元件、金屬面、拋光前后、球缺表面的測量。
技術參數(shù)

型號luphoscan+r測量技術光纖多波長干涉技術掃描模式2d線性掃描輪廓，等距，普通3d拓撲掃描旋轉(zhuǎn)，等距，普通測量范圍260mm (直徑)×75 mm（高度）精度p2v
(光束入射角度<2°)拋光ra<2um2um≦ra≦5um±50nm±250nm±1um縱向分辨率0.1nm重復性rms3nm光斑大小4μm橫向分辨率(點/mm2）(可調(diào))0,1….2×105測量時間平面,ф=25mm120s (16 poins/mm2),
240s(100 poins/mm2球面ф=60mm
roc=40mm200s(16 poins/mm2),
442s(100 poins/mm2球面ф=80mm
roc=80cm365s(16 poins/mm2),
733s(100 poins/mm2）非球面度無限制，一般≥1000μmZui大測試傾斜90°Zui大測試口徑260mm、420mm（或更大）

面形材料拋光，粗糙，鏡面，透明，不透明，金屬表面

面形種類（任何的旋轉(zhuǎn)對稱表面） 球面、非球面、平面、部分自由曲面、臺階

詳情電聯(lián)

本產(chǎn)品的加工定制是否，類型是激光干涉儀，品牌是LUPHOScan，型號是LUPHOScan，品種是其他干涉儀，測量范圍是260*75，測量分辨率是0.0000001mm，Zui近工作距離是10（mm）