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類金剛石涂層Ta-C與DLC對(duì)比

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工藝
真空離子鍍
服務(wù)項(xiàng)目
PVD涂層加工
鍍膜溫度
~100℃

類金剛石涂層Ta-C與DLC對(duì)比

類金剛石涂層(DLC)是一類具有類金剛石結(jié)構(gòu)的非晶碳基涂層的總稱,而Ta-C(鉭摻雜類金剛石涂層)是 DLC 家族中一種特殊的高性能涂層(屬于金屬摻雜型DLC)。兩者在成分、結(jié)構(gòu)和性能上既有聯(lián)系又有顯著差異,以下從核心維度進(jìn)行對(duì)比分析:

  • DLC(Diamond-Like Carbon):泛指由 sp2 雜化碳(類似石墨)和 sp3雜化碳(類似金剛石)混合組成的非晶碳涂層,可含氫(如 a-C:H)或不含氫(如 ta-C,四面體非晶碳),是一個(gè)“家族概念”。

  • Ta-C(Tantalum-Doped DLC):屬于 DLC 的細(xì)分類型,通常為低氫或無(wú)氫結(jié)構(gòu),是一種高性能金屬摻雜DLC。


  • 傳統(tǒng)的類金剛石膜層。利用傳統(tǒng)鍍膜設(shè)備及工藝,DLC中sp3鍵占比通常小于30%,硬度提升較為困難;純?cè)床捎眉冸x子鍍膜技術(shù)制備Ta-C功能膜,其sp3鍵>80%,硬度遠(yuǎn)高于傳統(tǒng)DLC膜,可應(yīng)用于各類高端制造領(lǐng)域。

        

    關(guān)鍵詞

    類金剛石涂層 , PVD真空鍍膜 , 真空鍍膜設(shè)備

    更新時(shí)間
    黃金會(huì)員
    第3年
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    成立日期
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