分子泵的清洗：   一般來講，如果說前級泵沒有問題，而真空在規(guī)定的時間內(nèi)沒有達(dá)到規(guī)定的真空值或者有漏氣（排除其它的漏氣）、或著解吸附作用降低，說明真空泵有點(diǎn)臟了，需要進(jìn)行清洗，這時不用進(jìn)行拆卸就可以直接進(jìn)行清洗，如果太臟的話，就必須進(jìn)行拆卸清理了。直接清洗的方法如下：1．關(guān)掉分子泵，進(jìn)行排氣。  2．從機(jī)器上拆下分子泵，注意不要碰到接口的邊緣部分。 3．拆掉冷卻器、加熱器（如果有的話）等4．拆掉潤滑的油包  5．將分子泵的高真空接口朝下垂直地放入一個適合的容器中。  6．往容器中用人無水酒精，高度以前級真空接口略低為宜.

當(dāng)渦輪分子泵關(guān)閉或運(yùn)轉(zhuǎn)極慢時，泵將不再有足夠大的壓縮比（泵內(nèi)壓力梯度）來阻止前級側(cè)存在的碳?xì)浠衔锿ㄟ^渦輪葉片向真空室進(jìn)行返流。這種現(xiàn)象稱作反擴(kuò)散或分子返流。在靜態(tài)條件下，整個系統(tǒng)的壓力均衡時，在前級管道側(cè)，油的分壓力通常為10- 4 ～10- 6 Torr （ 或13.33mPa～133.3Pa）Zui后也會波及到泵的入口處。當(dāng)泵關(guān)閉時，適當(dāng)?shù)亟o泵內(nèi)充氣是控制油分子返流，保持真空室內(nèi)無碳?xì)浠衔锏囊环N有效的措施。

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