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分子泵的清洗： 

一般來講，如果說前級泵沒有問題，而真空在規(guī)定的時間內(nèi)沒有達到規(guī)定的真空值或者有漏氣（排除其它的漏氣）、或著解吸附作用降低，說明真空泵有點臟了，需要進行清洗，這時不用進行拆卸就可以直接進行清洗，如果太臟的話，就必須進行拆卸清理了。直接清洗的方法如下：1．關掉分子泵，進行排氣。 2．從機器上拆下分子泵，注意不要碰到接口的邊緣部分。 3．拆掉冷卻器、加熱器（如果有的話）等4．拆掉潤滑的油包 5．將分子泵的高真空接口朝下垂直地放入一個適合的容器中。6．往容器中用人無水酒精，高度以前級真空接口略低為宜，如下圖。7．上下活動分子泵幾次，便于分子泵的定子和轉(zhuǎn)子的葉片清洗，在無水酒精中浸泡大概5～10分鐘。8．換掉無水酒精，加入新的無水酒精，重復前面的工作，Zui少要重復一次。 9．拿出分子泵。10．將高真空接口朝上，從垂直慢慢放倒到180度，以便排除磁性軸承中的酒精。

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一臺密封和除氣良好的渦輪分子泵，配以性能良好的雙級旋片泵（或同樣性能的干式前級泵），其極限真空一般可達到10- 9～10-10Torr（即133.3～13.33 nPa）之間。若一臺渦輪分子泵再串一臺渦輪分子泵，用金屬密封并除氣良好的泵，一般其極限壓力在110- 10～1 10-11 Torr （即13.33～1.333nPa）之間。而且不像低溫泵或離子泵那樣，渦輪分子泵在超高真空條件下能滿抽速運轉(zhuǎn)。這些性能再加上它有良好的清潔性（測不到碳氫化合物），顯然用戶會選擇渦輪分子泵用于高分辨率質(zhì)譜儀，分子束外延設備及超高真空分析儀器等設備上的。