非接觸式無損測厚儀采用的工作原理是光熱紅外法。利用光源照射物體表面,通過對激勵光源進行強度調(diào)制，在材料中產(chǎn)生熱波，光源激發(fā)的熱量通過熱波在涂層中向深處傳播，這一熱波在涂層與基材的邊界處反射并Zui終傳播出涂層以紅外熱輻射的形式被探測器接收。涂層越厚,該過程花費的時間越長。因此利用紅外探測器探測紅外熱輻射(相移)的信號就可以獲得涂層的厚度信息。由于表征涂層厚度(或其他參數(shù))的不是信號幅度而是信號相位,即輻射熱波相對于激發(fā)光波的時間偏移,因此這種測量方式對測量距離或探測角度的變化不敏感。這樣,可以非常高精度地測量涂層厚度和面密度。光熱紅外法測量的精度在亞微米范圍內(nèi),通常比目前工業(yè)上常用的測量方式要jingque得多。能夠測量直徑為50mm、75mm、100mm、150mm、200mm和300mm的晶圓。其厚度范圍根據(jù)晶圓直徑的不同而有所差異。例如，對于無框晶圓，其測量范圍可能是200\~1000μm或300\~1800μm；而對于鑲框晶圓，測量范圍可能達到0\~1100μm。
測量精度方面的厚度精度可以達到±0.5μm，分辨率高達10nm，動態(tài)范圍達800μm。這樣的精度保證了測量結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性，滿足了半導(dǎo)體行業(yè)對高精度測量的需求。
半導(dǎo)體電阻率測試儀，碳化硅方阻測試儀，少子壽命測試儀，晶圓霍爾遷移率測試系統(tǒng)，氮化鎵厚度TTV測試儀
許可項目：第二類醫(yī)療器械生產(chǎn)（依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動，具體經(jīng)營項目以審批結(jié)果為準(zhǔn)）一般項目：技術(shù)服務(wù)、技術(shù)開發(fā)、技術(shù)咨詢、技術(shù)交流、技術(shù)轉(zhuǎn)讓、技術(shù)推廣；軟件開發(fā)；人工智能基礎(chǔ)軟件開發(fā)；人工智能應(yīng)用軟件開發(fā)；新材料技術(shù)研發(fā)；機械設(shè)備研發(fā)；計算機系統(tǒng)服務(wù)；信息系統(tǒng)集成服務(wù)；工業(yè)工程設(shè)計服務(wù)；工程和技術(shù)研究和試驗發(fā)展；科技推廣和應(yīng)用服
公司成立于2021年，是一家注冊在蘇州、具備世界領(lǐng)先技術(shù)的非接觸式半導(dǎo)體檢測分析設(shè)備制造商。公司集研發(fā)、設(shè)計、制造、銷售于一體，主要攻克國外壟斷技術(shù)，替代進口產(chǎn)品，使半導(dǎo)體材料測試設(shè)備國產(chǎn)化。主要產(chǎn)品：非接觸式無損方塊電阻測試儀、晶圓方阻測試儀，方阻測試儀，硅片電阻率測試儀，渦流法高低電阻率分析儀，晶錠電阻率分析儀，渦流法電阻率探頭和PN探頭測試儀，遷移率（霍爾）測試儀，少子壽命測試儀，晶圓、硅片厚度測試儀，表面光電壓儀JPV\SPV、...