FH413A05三軸加速度傳感器說明書
一、簡介
FH413A05 三軸加速度傳感器由我公司自行研制，用于測量加速度的傳感器。它采用低功耗、高精度、低噪聲MEMS芯片，具有BIMOS 信號限制電路。設(shè)計考慮多用戶的需求，制造采用表貼工藝技術(shù)。具有低功耗、高可靠性和高封裝堅固性，并具自檢測（Self-Test）等功能，可實現(xiàn)自檢測。
本產(chǎn)品可用于汽車測控、慣性導(dǎo)航、飛行器安全系統(tǒng)、地震監(jiān)控、傾斜、速度和位置的慣性、振動和沖擊試驗臺加速度的測量等系統(tǒng)中。
二、原理
FH413A05三軸加速度傳感器是建造在硅晶片頂部的表面 MEMS 多硅結(jié)構(gòu)。多晶硅簧片懸浮在晶片表面的結(jié)構(gòu)，并提供一個克 服加速度感應(yīng)力的阻力。用包含兩個獨立的固定板和一個與運動質(zhì)塊 相連的中央板形成的差動電容器機構(gòu)來測量比例于加速度的多硅結(jié)構(gòu)的偏轉(zhuǎn)，從而產(chǎn)生電壓輸出信號。
三、技術(shù)條件
性能 | FH413A性能 | |||||
Ax，Ay，Az | ||||||
測量范圍（ g） | ±2 | ±4 | ±5 | ± 10 | ±20 | ±40 |
靈敏度（mV/g） | 1000±50 | 500±50 | 400±30 | 200±20 | 100±10 | 50±5 |
帶寬（10%，Hz） | 0～500 | |||||
零 g 偏置電壓（V） | 2.5±0.05 | |||||
滿量程輸出（V） | 0.5-4.5 | |||||
零偏溫度變化（mg/ °C） | ±0.2~±0.8 | |||||
交叉軸影響（%） | ≤2 | |||||
非線性度(％F.S) | ≤0.1 | |||||
噪聲密度（ug/ √Hz） | 20~80 | |||||
供電要求 | ||||||
供電電壓(VDC) | 12±0.5 | |||||
輸入電流（mA） | ≤20 | |||||
工作環(huán)境 | ||||||
使用溫度（。C） | -45～+85 |
抗沖擊（ g） | 5000 |
重量、體積 | |
重量(g) | ≤20 |
體積（mm3 ) | 21.6×21.6×12.4 |
四、接線端子定義
引線號 | 1 | 2 | 3 | 4 | 5 | 6 |
顏色 | 紅 | 黑 | 藍 | 黃 | 白 | 屏蔽 |
定義 | 12v | GND | Ax | Ay | Az | 殼體地 |
壓力，加速度傳感器，氣壓高度計，雷達高度計，無線電高度表，大氣數(shù)據(jù)機，無線電高度表，無人機探測雷達，反無人機雷達，動目標監(jiān)測雷達，目標跟蹤雷達。
許可經(jīng)營項目：* 一般經(jīng)營項目：計算機軟硬件技術(shù)、網(wǎng)絡(luò)板卡、傳感器、無線電高度計、測試測量儀器的研發(fā)與銷售；電子元器件、儀器儀表、光電產(chǎn)品、通訊設(shè)備、安防產(chǎn)品的銷售；網(wǎng)絡(luò)工程的安裝施工；貨物及技術(shù)的進出口業(yè)務(wù)（國家禁止或限制進出口的貨物、技術(shù)除外）。(上述經(jīng)營范圍涉及許可經(jīng)營項目的，憑許可證明文件或...
公司成立于2009年，注冊資金200萬元，公司總部位于古城西安經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)鳳城二路22號。是一家集產(chǎn)品研發(fā)、生產(chǎn)、代理銷售為一體的高科技公司。 公司主要業(yè)務(wù)有： 設(shè)計、開發(fā)和生產(chǎn)振動、沖擊加速度/速度/力/壓力/溫度/流量/傾角等傳感器及相關(guān)信號調(diào)理器、動態(tài)信號數(shù)據(jù)測試與采集、動態(tài)信號分析與模態(tài)測試儀器儀表及小型振動臺、激勵系統(tǒng)等產(chǎn)品； 設(shè)計、開發(fā)和生產(chǎn)無線電高度表（雷達高度計）、氣壓高度計、大氣數(shù)據(jù)機、 MEMS組合導(dǎo)...