st2258a型多功能數(shù)字式薄膜方阻測試儀簡介

一、結(jié)構(gòu)特征

見圖

二、概述

st2258a型數(shù)字式四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途半導體參數(shù)綜合測量裝置，是一款全自動電流量程的智能化數(shù)字化四探針測試儀！也稱電阻率測試儀|方塊電阻測量儀|體積電阻率測試儀，它可以測量單晶體|多晶體|納米涂層|高分子材料|導電塑料|導電橡膠|ito膜|導電薄膜等金屬導體|非金屬半導體材料的電阻率|方塊電阻|方阻，也可測量擴散層的薄層電阻（亦稱方塊電阻|方阻|表面電阻）。測試規(guī)范符合國家標準和美國試驗與材料協(xié)會astm標準，利用四端子測試原理，換上特制的四端子測試夾具，還可以對金屬導體、開關觸點的低、中值接觸電阻進行測量。

本測試儀特贈設測試結(jié)果分類功能，Zui大分類10類

儀器所有參數(shù)設定、功能轉(zhuǎn)換全部采用數(shù)字化鍵盤輸入；具有零位、滿度自校功能；自動轉(zhuǎn)換量程；測試探頭采用寶石導向軸套和高耐磨碳化鎢探針制成，故定位準確、游移率小、壽命長；測試結(jié)果由數(shù)字表頭直接顯示。

三、基本技術參數(shù)

1.測量范圍、分辨率

電 阻：1.0×10-3～ 200.0×103ω, 分辨率0.1×10-3～0.1×103ω

電 阻 率：1.0×10-3～ 20.0×103ω-cm分辨率0.1×10-3～ 0.1×103ω-cm

方塊電阻：1.0×10-3～ 20.0×103ω/□ 分辨率1.0×10-3～0.1×103ω/□

2.可測半導體材料尺寸

直 徑：測試臺直接測試方式 φ15～130mm，其他方式不限.

長（或高）度：測試臺直接測試方式 h≤160mm, 其他方式不限.

3.量程劃分及誤差等級

4)工作電源：220v±10％,f=50hz±4％,pw≤5w

5)外形尺寸：w×h×l=20cm×7.5cm×18cm

凈重：≤1kg

凈重：≤1kg

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