TOF-SIMS是一種靈敏的表面分析技術(shù)，采用一次的脈沖離子源激發(fā)固體表面的原子和分子基團(tuán)脫附或離化，所產(chǎn)生的二次離子因不同的質(zhì)量而飛行到探測(cè)器的時(shí)間不同而分離，從而測(cè)定離子質(zhì)量，是一項(xiàng)具有極高分辨率的測(cè)量技術(shù)。

TOF-SIMS廣泛應(yīng)用于物理、化學(xué)、微電子、生物、制藥、空間分析等領(lǐng)域，可提供電池、金屬、礦物等材料表面的化學(xué)組成及形貌信息，主要包括質(zhì)譜測(cè)試、面掃、深度剖析及對(duì)應(yīng)的數(shù)據(jù)分析。

TOF-SIMS分析特點(diǎn)：

TOF-SIMS可分析所有導(dǎo)體、半導(dǎo)體、絕緣材料，對(duì)于材料及產(chǎn)品表面成分及分布，表面添加組分、雜質(zhì)組分、表面多層結(jié)構(gòu)或鍍膜成分、表面異物殘留(如污染物、顆粒物、腐蝕物等)、表面痕量摻雜、表面改性、表面缺陷(劃痕、凸起)等有很好的表征能力。

TOF-SIMS主要用途：

TOF-SIMS被廣泛應(yīng)用于各種材料開發(fā)，材料剖析，多層膜或結(jié)構(gòu)剖析與失效機(jī)理的研究分析，研發(fā)領(lǐng)域如半導(dǎo)體器件、納米器件、生物醫(yī)藥、量子結(jié)構(gòu)、能源電池材料等；高新技術(shù)如高分子材料、金屬、半導(dǎo)體、玻璃陶瓷、納米鍍層、紙張、薄膜纖維等。

TOF-SIMS應(yīng)用場(chǎng)景：

(1)當(dāng)產(chǎn)品表面存在微小的異物，而常規(guī)的成分測(cè)試方法無法準(zhǔn)確對(duì)異物進(jìn)行定性定量分析，可選TOF-SIMS進(jìn)行分析，其可分析≥10μm直徑的異物成分。

(2)當(dāng)產(chǎn)品表面膜層太薄，無法使用常規(guī)測(cè)試進(jìn)行成分分析，可選TOF-SIMS進(jìn)行分析，其可定性分析膜層的成分。

(3)當(dāng)產(chǎn)品表面出現(xiàn)異物，但無法確定異物的種類，利用TOF-SIMS進(jìn)行分析，不僅可分析出異物所含元素，還可分析出異物的分子式。

(4)當(dāng)膜層與基材截面出現(xiàn)分層等問題，但無法觀察到明顯的異物痕跡，可使用TOF-SIMS分析表面痕量物質(zhì)成分分析，從而確定截面是否被污染，檢出限可達(dá)ppm級(jí)別。