簡單介紹

μsurfcustom量身定制的測量系統(tǒng)  的詳細介紹

     μsurf系列產(chǎn)品采用多孔共聚焦技術(shù)，結(jié)合ccd的影像攝取，以有許多孔洞的旋轉(zhuǎn)盤取代偵測器的孔洞，再將物鏡垂直移動，以類似斷層攝影方式，可在短時間(約幾秒)內(nèi)量測物體的三維數(shù)據(jù)。其測量方式是非接觸式，不會破壞樣品的表面，不需要在真空環(huán)境下測量，也可以用顯微鏡測量的功能來觀測樣本，其在嚴酷的工作環(huán)境下，也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法，在測量漸變較大的高度時，跟其他方法相比，可以更量測物體高度，建立3d立體影像，優(yōu)勢相當明顯。 
量身定制的測量系統(tǒng) 
      nanofocus可提供μsurfcustom以滿足客戶的具體要求。采用了模塊化設(shè)計，豐富的硬件與軟件可以由客戶選擇。歸功于模塊化設(shè)計，測量系統(tǒng)可滿足不同的測量任務(wù)和自動化需求，測量方便、準確。usurfcustom是自動化質(zhì)量控制的保證，在研究實驗室和生產(chǎn)環(huán)境有廣泛的應(yīng)用。
      μsurfcustom量身定制的測量系統(tǒng)可在同一臺機器上搭配基于不同技術(shù)的多種傳感器以滿足不同的測量需求，根據(jù)測量需求及應(yīng)用，我們可為您配備的傳感器，同樣，為了保證Zui高舒適級別的用戶體驗，所有的傳感器控制都集成在同一軟件中。 
應(yīng)用 
μsurf系列用來測量表面物理形貌，進行微納米尺度的三維形貌分析，如3d表面形貌、2d的縱深形貌、輪廓（縱深、寬度、曲率、角度）、表面粗糙度等。 
精密部件：檢測對表面磨損，表面粗糙度，表面微結(jié)構(gòu)有要求的零部件，比如發(fā)動機汽缸、刀口等; 
生命科學：測量stents支架上鍍層厚度等 
微電子機械系統(tǒng)：微型器件的檢測，醫(yī)藥工程中組織結(jié)構(gòu)的檢測，如基因芯片等 
半導體：檢測微型電子系統(tǒng)，封裝及輔助產(chǎn)品結(jié)構(gòu)設(shè)計 
太陽能：太陽能電池片柵線的3d形貌表征、高寬比測量，制絨后3d形貌表征（單晶金字塔大小、數(shù)量、角度，多晶腐蝕坑形貌、密度），粗糙度分析等 
紙張：紙張、錢幣表面三維形貌測量 
led：用于藍寶石襯底的測量，抽檢pss icp后的wafer的3d形貌 
技術(shù)參數(shù) 
led光源：λ= 505 nm, mtbf: 50,000h 
測量時間：2~10秒 
測量原理：非接觸、共聚焦 
x/y方向：平臺移動范圍：100mmx100mm/200mmx200mm/300mmx300mm(大小可選)，馬達驅(qū)動，x/y方向分辨率：0.3μm 
z方向測量范圍：350μm，z方向分辨率：< 1nm 
物鏡：10x、20x、50x、100x(可選) 
離軸攝像頭(10x)，Zui大視野8 x 6 mm2(選配) 
計算機：高性能計算機控制系統(tǒng)，功能強大且全面的軟件，有拼接功能 
配有專業(yè)工作臺：尺寸1550x800x750 mm (lxwxh) 
工作電源：100-240v, 50-60hz，input: 550 va 
材質(zhì)：鋼鐵、橡膠、大理石 
重量：約150kg+80kg 
潔凈室等級: capability class 6 (according to din en iso14644)