20世紀60年代美國聯(lián)合碳化物公司推出了Parylene派瑞林系列新型高分子敷型涂層材料，磁鐵派瑞林，由于其優(yōu)異的阻隔性能在防潮、防霉、防鹽霧的三防涂層材料領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。派瑞林原料C型、N型、D型、F型、AF4型是派瑞林聚合物的新一代衍生物，包括苯環(huán)取代和亞取代兩類，氟原子的引入能夠較好地改善薄膜的電學(xué)性能和熱穩(wěn)定性。Parylene系列衍生物的研究主要集中在單體環(huán)二體的合成方法及薄膜的特性研究，有關(guān)薄膜制備方法的報道較少，曾有采用液態(tài)前驅(qū)體進行薄膜制備的文獻報道。

      超聲波霧化噴涂設(shè)備的工作原理是通過將高頻超聲波轉(zhuǎn)變成機械振動，派瑞林加工，超聲波霧化噴嘴霧化液滴極其細小，為微米大小的液滴。這些霧化液滴具有非常精密分布的特點，并且霧化液滴的粒子大小由超聲波工作時的頻率所決定的，頻率越大其霧化液滴粒子月細小。超聲波霧化噴涂設(shè)備能夠連續(xù)地將功能性液體均勻的分散在被處理器件表面，產(chǎn)生功能性薄膜涂層。

      超聲波霧化噴涂設(shè)備因其霧化噴涂的涂層均勻、致密、超薄，能夠?qū)崿F(xiàn)用少的材料噴涂更多的傳感器，為公司節(jié)約大量成本等優(yōu)勢已逐漸投入市場并大范圍使用。

      真空蒸鍍基本原理：在真空條件下，使金屬、金屬合金等蒸發(fā)，派瑞林絕緣涂層，然后沉積在基體表面上，蒸發(fā)的方法常用電阻加熱，電子?xùn)|轟擊鍍料，使蒸發(fā)成氣相，然后沉積在基體表面，歷，真空蒸鍍是PVD法中使用早的技術(shù)。

      濺射鍍膜基本原理：充(Ar)氣的真空條件下，使氣進行輝光放電，這時(Ar)原子電離成氮離子(Ar)，離子在電場力的作用下，加速轟擊以鍍料制作的陰極靶材，靶材會被濺射出來而沉積到工件表面。濺射鍍膜中的入射離子，派瑞林，一般采用輝光放電獲得，在10-2pa~10Pa范圍，所以濺射出來的粒子在飛向基體過程中，易和真空室中的氣體分子發(fā)生碰撞，使運動方向隨機，沉積的膜易于均勻。

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