半導(dǎo)體工業(yè):高純氬在半導(dǎo)體工業(yè)中用作生產(chǎn)高純硅和鍺晶體的保護氣體;可用作系統(tǒng)清洗、屏蔽和增壓用惰性氣體;在化學(xué)氣相淀積、濺射和退火等工藝中有所應(yīng)用。
金屬冶煉:高純氬在金屬冶煉方面,氧、氬吹煉是生產(chǎn)優(yōu)質(zhì)鋼的重要措施,每煉1t鋼的氬氣消耗量為1~3m3。此外,對鈦、鋯、鍺等特殊金屬的冶煉,以及電子工業(yè)中也需要用氬作保護氣。
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