日本倔場HORIBA質(zhì)量流量控制器D700T
- 報(bào)價(jià)
- ￥12360.00元每臺(tái)
- 銷售電話
- 17695647189
- 微信號(hào)
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- 品牌
- HORIBA
- 名稱
- 質(zhì)量流量控制器
- 系列
- D700T
HORIBA在流體控制、汽化、分析設(shè)備和測(cè)量系統(tǒng)方面解決方案專為半導(dǎo)體和工業(yè)加工市場的各個(gè)階段量身定制。
HORIBA的解決方案包括氣體和液體質(zhì)量流量控制器、液體汽化系統(tǒng)、自動(dòng)液體補(bǔ)充系統(tǒng)、氣體發(fā)生器、超純水監(jiān)測(cè)儀和化學(xué)濃度監(jiān)測(cè)儀。
什么是質(zhì)量流量控制器？
質(zhì)量流量控制器根據(jù)以電信號(hào)發(fā)送的設(shè)定流量自動(dòng)控制氣體的流量，而不受使用條件或氣體壓力變化的影響。流量大致可分為兩種：體積流量和質(zhì)量流量。體積流量測(cè)量受環(huán)境溫度和壓力的影響。為了看到真實(shí)的流量，壓力和溫度條件需要是壓力條件，因此提供更準(zhǔn)確和穩(wěn)定的流量測(cè)量和控制。當(dāng)控制流量或建立自動(dòng)化生產(chǎn)線時(shí)，我們的質(zhì)量流量控制器作為設(shè)備廣泛應(yīng)用于工業(yè)領(lǐng)域。
在各種制造工藝和研究實(shí)驗(yàn)室中，HORIBA提供氣體和液體的測(cè)量和可靠控制。HORIBA是公認(rèn)的高性能質(zhì)量流量計(jì)、質(zhì)量流量控制器、自動(dòng)壓力控制器和液體汽化系統(tǒng)的生產(chǎn)者，其產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造行業(yè)。
HORIBA流量控制器結(jié)構(gòu)及工作原理
這些質(zhì)量流量控制器具有流量測(cè)量部分，其中包括傳感器、旁路、流量控制閥和特殊電路。
氣體從入口接頭輸入，并被分流，流過流量傳感器和旁路。傳感器測(cè)量氣體的質(zhì)量流量，流量控制閥修改流量，使得測(cè)量的流量與從外部流量設(shè)定信號(hào)接收的流量之間的差值為0（零）。
該裝置具有回路，因此即使存在二次壓力變化或環(huán)境溫度變化可能影響引入氣體的供應(yīng)壓力，流量也會(huì)立即修正，從而確保穩(wěn)定的流量控制。
HORIBA工作原理
1、從入口進(jìn)入的氣體首先分裂流過傳感器或通過旁路。
2、在傳感器處，質(zhì)量流量被檢測(cè)為溫度的成比例變化，并由橋電路轉(zhuǎn)換為電信號(hào)。
3、該信號(hào)經(jīng)過放大和校正電路，并以 0 至 5V 之間的線性電壓輸出。同時(shí)，也送至比較控制電路。
4、比較控制電路將流量設(shè)定信號(hào)與來自傳感器的實(shí)際流量設(shè)定信號(hào)進(jìn)行比較，并將差值信號(hào)發(fā)送至閥門驅(qū)動(dòng)電路。
5、流量控制閥移動(dòng)器適當(dāng)?shù)厥顾枇髁吭O(shè)定點(diǎn)和流量輸出信號(hào)之間的差異接近零。換句話說，該裝置控制流量，使其始終處于設(shè)定的流量。
HORIBA數(shù)字質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特點(diǎn)
這些質(zhì)量流量控制器具有流量測(cè)量部分，其中包括傳感器、旁路、流量控制閥和特殊電路。CPU是電路的一部分，這使得它具有多功能且高效。該裝置具有回路，因此即使存在二次壓力變化或環(huán)境溫度變化可能影響引入氣體的供應(yīng)壓力，流量也會(huì)立即修正，從而確保穩(wěn)定的流量控制。
液體質(zhì)量流量控制 測(cè)量原理
冷卻測(cè)量方法
LF-F/LV-F系列液體精細(xì)質(zhì)量流量控制器中的流量傳感器由與毛細(xì)管接觸的電子冷卻元件（珀耳帖元件）以及多個(gè)溫度檢測(cè)元件組成。當(dāng)液體流動(dòng)時(shí)，傳感器檢測(cè)與流量相對(duì)應(yīng)的溫升（?T），并將其顯示為流量。與加熱方法不同，這種冷卻方法可以測(cè)量低沸點(diǎn)液體的流量。它還可以防止由于二次放電（蒸發(fā)）的影響而產(chǎn)生的干擾問題，并實(shí)現(xiàn)流量測(cè)量。
結(jié)構(gòu)/工作原理
LV-F系列質(zhì)量流量控制器與LF-F系列質(zhì)量流量計(jì)類似，但還具有壓電執(zhí)行器閥和內(nèi)部比較控制電路。它們比較流量設(shè)定信號(hào)和流量輸出信號(hào)，并自動(dòng)控制閥門孔徑，使兩個(gè)信號(hào)匹配。由于它們使用反饋控制系統(tǒng)，因此不會(huì)因外部因素而導(dǎo)致流量變化，因此可以進(jìn)行穩(wěn)定控制。使用既穩(wěn)定又不產(chǎn)生熱量的壓電執(zhí)行器閥作為控制閥，使這些裝置非常適合低沸點(diǎn)液體的流量控制。
氣液混合法
這是 MI/MV系列中使用的汽化方法。由于進(jìn)樣器內(nèi)噴嘴前端的載氣壓力較高，因此可以有效加熱。液體源和加熱的載氣在噴嘴前面的氣/液混合區(qū)域混合在一起，當(dāng)它們通過噴嘴時(shí)壓力降低，使混合物蒸發(fā)。汽化效率高于傳統(tǒng)汽化方法。當(dāng)采用這種方法時(shí)，可以產(chǎn)生較大的流量，并且可以降低產(chǎn)生溫度。
主要系列：D700uF、D700T、D700MG、D700WR、D500、SEC-Z700S、SEC-Z500X、SEC-N100、SEC-E、SEC-8000F/D/E、SEC-400、UR-Z700、FS-3000、EC-5000
KOSO調(diào)節(jié)閥，艾默生流量計(jì)，EPRO傳感器，E+H流量計(jì)，薩姆森定位器，霍尼韋爾傳感器，SOMSON定位器，費(fèi)希爾定位器，F(xiàn)isher定位器，福斯定位器，山武開關(guān)，azbil開關(guān)，F(xiàn)oxboro傳感器，?？瞬_傳感器，F(xiàn)oxboro開關(guān)，F(xiàn)oxboro流量計(jì)，F(xiàn)oxboro卡件，HONEYWELL開關(guān)，霍尼韋爾開關(guān)，
一般項(xiàng)目:技術(shù)服務(wù)、技術(shù)開發(fā)、技術(shù)咨詢、技術(shù)交流、技術(shù)轉(zhuǎn)讓、技術(shù)推廠；機(jī)械電氣設(shè)備銷售；工業(yè)自動(dòng)控制系統(tǒng)裝置銷售；機(jī)械零件、零部件銷售:電子元器件與機(jī)電組件設(shè)備銷售:機(jī)械設(shè)備銷售；電子專電氣設(shè)備銷售；電子、機(jī)械設(shè)備維護(hù)(不含特種設(shè)備)；用設(shè)備銷售；普通機(jī)械設(shè)備安裝服務(wù):儀器儀表銷售；儀器儀表修理，五金產(chǎn)品零售；五金產(chǎn)品批發(fā)，縫制機(jī)械銷售:貨物進(jìn)出口；技術(shù)進(jìn)出
文特爾控制技術(shù)（天津）有限公司專注于過程控制與過程檢測(cè)，公司業(yè)務(wù)涉及石油、天然氣、石化、科研、電力、食品、冶金、制藥等領(lǐng)域。主營產(chǎn)品有：SAMSON定位器，費(fèi)希爾定位器，F(xiàn)isher定位器，福斯定位器，山武開關(guān)，azbil開關(guān)，F(xiàn)oxboro傳感器，?？瞬_傳感器，F(xiàn)oxboro開關(guān)，F(xiàn)oxboro流量計(jì)，F(xiàn)oxboro卡件，HONEYWELL開關(guān)，霍尼韋爾開關(guān)，HONEYWELL傳感器，霍尼韋爾傳感器，EMERSON流量計(jì)，艾默生流量...