氟橡膠 FPM
(FluoroCarbon Rubber) 分子內含氟之橡膠，依氟含量 ( 即單體構造 )而有各種類型。目前廣用的六氟化系氟橡膠Zui早由杜邦公司以“Viton”商品名上市。耐高溫性優(yōu)于硅橡膠，有jijia的耐化學性、耐大部分油及溶劑(酮、酯類除外)、耐候性及耐臭氧性;耐寒性則較不良，一般使用溫度范圍為 -20~250℃。特殊配方可耐低溫至-40℃。
（1）優(yōu)點：
?可抗熱至 250 ℃
?對于大部份油品及溶劑都具有抵抗的能力，尤其是所有的酸類、脂族烴、芳香烴及動植物油
（2）缺點：
?不建議使用于酮類，低分子量的酯類及含硝的混合物。
   ? 汽車、機車、柴油發(fā)動機及燃料系統(tǒng)。
?化工廠的密封件。
12、全氟橡膠FFPM
(Perfluoroelastomer)
（1）優(yōu)點：
?zuijia耐熱特性
?優(yōu)異的抗化學特性
?低Outgassing 特性
?優(yōu)異之抗Plasma特性
（2）缺點：
?耐低溫特性較差
?原料價格較高
   ? 生產(chǎn)難度較高
   ?全氟系列產(chǎn)品廣泛地運用于半導體產(chǎn)業(yè)及信息相關產(chǎn)業(yè)所運用,運用范圍包含薄膜制程中之PVC,CVD及蝕刻制程及各種高真空密封制程。