凈化技術(shù)的設(shè)備發(fā)展

　　美國(guó)在中國(guó)臺(tái)灣的TSMCS新廠已建成第四代管道式潔凈室總面積達(dá)10000平方米。我國(guó)使用的0，1微米十級(jí)潔凈室主要依賴從國(guó)外進(jìn)口。由于高潔凈級(jí)別的潔凈室造價(jià)十分昂貴，無(wú)菌潔凈室，0.1微米十級(jí)潔凈室每平方米造價(jià)高達(dá)1萬(wàn)美元以上。在大規(guī)模集成電路制造裝備的投資中潔凈廠房占有相當(dāng)高的比例，無(wú)菌潔凈室怎么樣，這與集成電路工藝不斷更新，產(chǎn)品更新?lián)Q代周期越來(lái)越快的發(fā)展趨勢(shì)不相適應(yīng)，嚴(yán)重制約了大規(guī)模集成電路技術(shù)的發(fā)展。

食品凈化工程衛(wèi)生安全要求

　　要在車間內(nèi)適當(dāng)?shù)牡胤?，設(shè)置工器具清洗、消毒間，配置供工器具清洗、消毒用的清洗槽、消毒槽和漂洗槽，必要時(shí)，有冷熱水供應(yīng)。

　　在地面防滑性上，應(yīng)選用防滑、堅(jiān)固、不滲水、易清潔、耐腐蝕的材料鋪制，無(wú)菌潔凈室，車間地面表面要平坦，不積水。車間整個(gè)地面的水平在設(shè)計(jì)和建造時(shí)應(yīng)該比廠區(qū)的地面水平略高，地面有的斜坡度

凈化工程注意事項(xiàng)需記牢：

　　凈化工程注意事項(xiàng)需記牢，凈化工程有許多需要注意的事項(xiàng)，無(wú)菌潔凈室好不好，做好這些才能發(fā)揮凈化的價(jià)值。

　　1.安全注意事項(xiàng)嚴(yán)厲無(wú)菌操作，避免微生物污染;操作人員進(jìn)入無(wú)菌室應(yīng)先關(guān)掉紫外燈。

　　2.無(wú)菌室應(yīng)設(shè)有無(wú)菌操作間和緩沖間，無(wú)菌操作間潔凈度應(yīng)到達(dá)10000級(jí)，室內(nèi)溫度堅(jiān)持在20-24℃，濕度堅(jiān)持在45-60%。超凈臺(tái)潔凈度應(yīng)到達(dá)100級(jí)。

　　3.無(wú)菌室應(yīng)堅(jiān)持清洗，禁止堆積雜物，以防污染。謹(jǐn)防全部滅菌器件和培養(yǎng)基污染，已污染者應(yīng)停止運(yùn)用。

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