深冷空分制氧的純度主要受到以下幾個因素的影響：

1. 操作溫度：制氧過程中的溫度是控制純度的重要因素。一般情況下，溫度越低純度越高，但是過低的溫度會使設備成本增加，能耗增加。

2.操作壓力：制氧過程中的壓力是控制氣體流速的重要因素，同時也會影響純度。當壓力過高時，氮氣和氧氣的分離效果會受到影響，從而降低純度。

3.設備材料：深冷空分制氧設備中使用的材料可以影響氧氣純度。不同材料的使用會影響氣體分離效果、氣體對材料的吸附性質(zhì)等，從而影響純度。

4.操作流程：深冷空分制氧的操作流程也會影響氧氣純度。如設備中的儲氧罐的設計、操作人員的技術水平、設備的維護保養(yǎng)等因素都會對氧氣純度產(chǎn)生影響。