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成分分析按照分析對象和要求可以分為 微量樣品分析 和 痕量成分分析 兩種類型。按照分析的目的不同，又分為體相元素成分分析、表面成分分析和微區(qū)成分分析等方法。
體相元素成分分析是指體相元素組成及其雜質(zhì)成分的分析，其方法包括原子吸收、原子發(fā)射ICP、質(zhì)譜以及X射線熒光與X射線衍射分析方法；其中前三種分析方法需要對樣品進(jìn)行溶解后再進(jìn)行測定，因此屬于破壞性樣品分析方法；而X射線熒光與衍射分析方法可以直接對固體樣品進(jìn)行測定因此又稱為非破壞性元素分析方法。
表面與微區(qū)成分分析
X射線光電子能譜（X-ray Photoelectron Spectroscopy,XPS）；（10納米，表面）
俄歇電子能譜（Auger electron spectroscopy，AES）；（6nm，表面）
二次離子質(zhì)譜（Secondary Ion Mass Spectrometry, SIMS）；（微米，表面）
電子探針分析方法；（0.5微米，體相）
電鏡的能譜分析；（1微米，體相）
電鏡的電子能量損失譜分析；（0.5nm）
為達(dá)此目的，成分分析按照分析手段不同又分為光譜分析、質(zhì)譜分析和能譜分析。
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