1857年德國化學家HBuff發(fā)現(xiàn)硅烷，在以后的100年左右的時間里硅烷只是少數(shù)研究者在實驗室里研究的對象，沒有任何用途。20世紀50年代半導(dǎo)體科技崛起，人們開始考慮硅烷的特長，硅烷開始在電子工業(yè)中得到應(yīng)用。進入80年代,硅烷的應(yīng)用情況發(fā)生了重大變化。隨著一系列新技術(shù)的出現(xiàn)或者說利用硅烷開發(fā)新產(chǎn)品的成功，硅烷用量急劇增加。每年數(shù)以千噸計的硅烷在工廠里被加工成超純半導(dǎo)體硅，數(shù)以百噸計的氣體被用于制造各種各樣的新材料和新器件?？紤]到在這些應(yīng)用中大多數(shù)器件每個所耗用的氣體量只有毫克甚至微克，由硅烷制成的薄膜厚度都是微米數(shù)量級，可見上述硅烷量不是一個小的數(shù)字。進入90年代,更大量的新功能器件問世，其中已大規(guī)模開發(fā)的有超高速、超大容量計算機芯片、高清晰度平面顯示器、高效率低成本太陽能電池、高性能陶瓷發(fā)動機零件、各種特異功能的傳感器等等，更多更新的器件還在涌現(xiàn)，這些器件都要用到硅烷。

硅烷之所以在高科技中被廣泛應(yīng)用并且越來越重要,首先是與它的特性有關(guān)，同時也與現(xiàn)代高技術(shù)的特殊需求有關(guān)。通過熱分解或與其它氣體的化學反應(yīng)，可由硅烷制得單晶硅、多晶硅、非晶硅、金屬硅化物、氮化硅、碳化硅、氧化硅等一系列含硅物質(zhì)。利用硅烷可以實現(xiàn)*高的純度、*精細(可達原子尺寸)的控制和*靈活多變的化學反應(yīng)。從而將各種含硅材料按各種需要制成復(fù)雜精細的結(jié)構(gòu),這正是現(xiàn)代具有各種特異功能的材料和器件所要求的基本條件。