芯片用真空烤箱適用于各行業(yè)如光電、硅晶片、電子芯片、電池、線路板、電子電器、制藥、化工、塑膠、硅膠等真空脫泡處理及真空狀態(tài)下烘烤，可充惰性氣體，生產(chǎn)車間、實驗室及科研單位測試之要求設(shè)備。

芯片用真空烤箱特點：

熱風在箱內(nèi)循環(huán),熱效率高,節(jié)約能源。

整機噪音小、運轉(zhuǎn)平穩(wěn)，溫度自控,安裝維修方便。

適用范圍廣, 可干燥各種物料，是通用干燥設(shè)備。

適合測定物品水分、烘干物品、干燥熱處理及其它加熱之用。

數(shù)顯式溫度調(diào)節(jié)儀進行溫度控制、控溫靈敏、操作簡便、性能可靠,數(shù)字直接顯示出工作溫度,直觀易讀。

芯片用真空烤箱工作室溫度可在室溫至300°C之間任意恒溫;能自動切斷電源，保護設(shè)備和產(chǎn)品。

是實驗室和規(guī)模生產(chǎn)不可缺少的設(shè)備。

利用強制通風作用,箱內(nèi)設(shè)有可調(diào)式分風板,物料干燥均勻。熱源可采用蒸汽、熱水、電、遠紅外,選擇廣泛。

國內(nèi)流線圓弧型設(shè)計,外殼采用冷軋鋼板制造,表面靜電噴塑;

溫控系統(tǒng)采用微電腦單片機技術(shù),控溫,定時,超溫報警;

芯片用真空烤箱顯示為雙屏高亮度數(shù)碼管顯示,示值準確直觀,性能優(yōu)越,觸摸式按鍵設(shè)定調(diào)節(jié)參數(shù);

溫控傳感器采用的是電容式原裝進口部件;

采用進口電機及風葉;具有定時和計時功能;

內(nèi)膽均為不銹鋼材料制成;半圓形四角易清潔;

箱門完全松緊可由用戶任意調(diào)節(jié),整體成形的硅橡膠門封圈,確保箱內(nèi)高真空度;

工作室為長方體結(jié)構(gòu),使有效容積達到,箱門采用鋼化、防彈雙層玻璃門,使觀察工作室培養(yǎng)物品能讓用戶一目了然。

芯片用真空烤箱產(chǎn)品規(guī)格：

內(nèi)尺寸：600（寬）×600（深）×600（高）mm；

外尺寸約：900（寬）×830（深）×1520（高）mm；以實物為準；

外部尺寸： 以實物尺寸為準

半導(dǎo)體用真空烤箱主要參數(shù)：

溫度范圍：RT+10℃～200℃可調(diào)（100℃以下可抽真空）

真空度： 760～1Torr

真空泵： 油真空泵（加過濾器）

芯片用真空烤箱控溫系統(tǒng)：

溫度控制器為數(shù)顯儀表，單點式控溫，可自動演算，PV/SV同時顯示，按鍵設(shè)定

定時功能：采用歐姆龍計時器，時間結(jié)束后停止加熱及抽真空功能，同時報警提示

感溫線（K）型；

輸出為3-32V；

芯片用真空烤箱電流控制器為：PID+SSR固態(tài)繼電器；

加熱方式：采用三面加熱的熱輻射的方式；（左、右、底三面）

發(fā)熱材料為：不銹鋼高溫加熱管；

溫度范圍：常溫+30℃～250℃（之間可調(diào)可控）；

芯片用真空烤箱控制精度：±0.5℃;

顯示精度：0.1℃；

箱內(nèi)溫度偏差：±5.0℃.(無真空下空載測試)

芯片用真空烤箱注意事項：

真空箱應(yīng)在相對濕度≤85%RH，周圍無腐蝕性氣體、無強烈震動源及強電磁場存在的環(huán)境中使用。

真空箱外殼必須有效接地，以保證使用安全。

真空箱工作室無防爆、防腐蝕等處理，不放易燃、易爆、易產(chǎn)生腐蝕性氣體的物品進行干燥，如有腐蝕性氣體物品需提前說明，以便用特殊耐腐蝕材料制作。

芯片用真空烤箱真空泵不能長時期工作，因此當真空度達到干燥物品要求時，應(yīng)先關(guān)閉真空閥，再關(guān)閉真空泵電源，待真空度小于干燥物品要求時，再打開真空閥及真空泵電源，繼續(xù)抽真空，這樣可延長真空泵使用壽命，也可以使用自動聯(lián)鎖裝置控制，達到產(chǎn)品要求的真空度時自動停止，低于要求真空度時，自動啟動抽真空。

干燥的物品如潮濕，則在真空箱與真空泵之間好加入過濾器，防止潮濕氣體進入真空泵，造成真空泵故障。

干燥的物品如干燥后改變?yōu)橹亓枯p，體積小（為小顆粒狀），應(yīng)在工作室內(nèi)抽真空口加隔阻網(wǎng)，以防干燥物吸入而損壞真空泵（或電磁閥）。

芯片用真空烤箱經(jīng)多次使用后，會產(chǎn)生不能抽真空的現(xiàn)象，此時應(yīng)更換門封條或調(diào)整箱體上的門扣伸出距離來解決。

真空箱應(yīng)經(jīng)常保持清潔。箱門玻璃切忌用有反應(yīng)的化學溶液擦拭，應(yīng)用松軟棉布擦拭，不能用尖銳物涂畫鋼化玻璃窗。

若真空箱長期不用，將露在外面的電鍍件擦凈后涂上中性油脂，以防腐蝕，并套上塑料薄膜防塵罩，放置于干燥的室內(nèi)，以免電器元件受潮損壞，影響使用。

真空箱不需連續(xù)抽氣使用時，應(yīng)先關(guān)閉真空閥，再關(guān)閉真空泵電源，否則真空泵油要倒灌至箱內(nèi)，也可配置特殊閥防止真空油倒流

芯片用真空烤箱若工作室內(nèi)干燥物的濕度較大，產(chǎn)生的水氣會影響真空泵的性能，建議在干燥箱和真空泵之間，串入一個“干燥/過濾器”。

若在干燥物品的過程中，需要加入氮氣等惰性氣體，應(yīng)在合同中注明，增配一個進氣閥。

芯片用真空烤箱維護及保養(yǎng)：

經(jīng)常檢查油質(zhì)情況，發(fā)現(xiàn)油變質(zhì)應(yīng)及時更換新油，確保真空泵工作正常，經(jīng)常檢查油位位置，不符合規(guī)定時須調(diào)整使之符合要求。以真空泵運轉(zhuǎn)時，油位到油標中心為準。

換油期限按實際使用環(huán)境條件和能否滿足性能要求等情況考慮，由用戶酌情決定。一般新真空泵，抽除清潔干燥的氣體時，建議在工作100小時左右換油一次。待油中看不到黑色金屬粉末后，以后可適當延長換油期限。

芯片用真空烤箱一般情況下，真空泵工作2000小時后應(yīng)進行檢修，檢查桷膠密封件老化程度，檢查排氣閥片是否開裂，清理沉淀在閥片及排氣閥座上的污物。清洗整個真空泵腔內(nèi)的零件，如轉(zhuǎn)子、旋片、彈簧等。一般用汽油清洗，并烘干。對橡膠件類清洗后用干布擦干即可。清洗裝配時應(yīng)輕拿輕放小心碰傷。

有條件的對管中同樣進行清理，確保管路暢通。

芯片用真空烤箱重新裝配后應(yīng)進行試運行，一般須空運轉(zhuǎn)2小時并換油二次，因清洗時在真空泵中會留有一定量易揮發(fā)物，待運轉(zhuǎn)正常后，再投入正常工作。

檢查真空泵管路及結(jié)合處有無松動現(xiàn)象。用手轉(zhuǎn)動真空泵，試看真空泵是否靈活。

點動電機，試看電機轉(zhuǎn)向是否正確。

開動電機，當真空泵正常運轉(zhuǎn)后，打開出口壓力表和進口真空泵，視其顯示出適當壓力后，逐漸打開閘閥，同時檢查電機負荷情況。

芯片用真空烤箱盡量控制真空泵的流量和揚程在標牌上注明的范圍內(nèi)，以保證真空泵在高效率點運轉(zhuǎn)，才能獲得大的節(jié)能效果。

真空泵在運行過程中，軸承溫度不能超過環(huán)境溫度35C，高溫度不得超過80C。

如發(fā)現(xiàn)真空泵有異常聲音應(yīng)立即停車檢查原因。

真空泵要停止使用時，先關(guān)閉閘閥、壓力表，然后停止電機。

芯片用真空烤箱真空泵在工作一個月內(nèi)，經(jīng)100小時更換潤滑油，以后每個500小時，換油一次。

經(jīng)常調(diào)整填料壓蓋，保證填料室內(nèi)的滴漏情況正常（以成滴漏出為宜）。

定期檢查軸套的磨損情況，磨損較大后應(yīng)及時更換。

真空泵在寒冬季節(jié)使用時，停車后，需將泵體下部放水螺塞擰開將介質(zhì)放凈。防止凍裂。

真空泵長期停用，需將泵全部拆開，擦干水分，將轉(zhuǎn)動部位及結(jié)合處涂以油脂裝好，妥善保管。