氬氣時(shí)目前應(yīng)用廣的惰性氣體。用于半導(dǎo)體制造工藝中的化學(xué)氣相淀積、晶體生長(zhǎng)、熱氧化、外延、擴(kuò)散、多晶硅、鎢化、離子注入、冶煉、切割、焊接等。

液氬    Argon gas
化學(xué)式    Ar 
EINECS NO  231-147-0
CAS   NO   7440-37-1，
濃度(V/V): 99.999%
質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)：GB/T4842-2006
常規(guī)包裝物：儲(chǔ)罐
鋼瓶防護(hù)：液化鋼瓶、專用鋼瓶
應(yīng)用：氬氣時(shí)目前應(yīng)用 廣的惰性氣體。用于半導(dǎo)體制造工藝中的化學(xué)氣相淀積、晶體生長(zhǎng)、熱氧化、外延、擴(kuò)散、多晶硅、鎢化、離子注入、冶煉、切割、焊接等。
分子量： 39無色無臭的惰性氣體；
蒸汽壓202.64kPa(-179℃)；             熔點(diǎn): -189.2℃
熔點(diǎn)-189.2℃；             沸點(diǎn)-185.7℃     水溶性: 微溶于水
溶解性：微溶于水       相對(duì)密度(水=1)1.40(-186℃)
穩(wěn)定性：穩(wěn)定            相對(duì)密度(空氣=1)1.38
危險(xiǎn)標(biāo)記 5(不燃?xì)怏w)
主要用途：用于燈泡充氣和對(duì)不銹鋼、鎂、鋁等的電弧焊接，即“氬弧焊”。
性狀：無色無臭
安全性描述
氬濃度達(dá)50%以上，引起嚴(yán)重癥狀;75%以上時(shí)，可在數(shù)分鐘內(nèi)死亡。
危險(xiǎn)性符號(hào)
普通大氣壓下無毒
危險(xiǎn)性描述
高濃度時(shí)，使氧分壓降低而發(fā)生窒息。
侵入途徑：吸入
迅速脫離現(xiàn)場(chǎng)至空氣新鮮處。保持呼吸道通暢。如呼吸困難，給輸氧。如呼吸停止，立即進(jìn)行人工呼吸。就醫(yī)
急救處理
一：切斷氣源，迅速撤離泄漏污染區(qū)，處理泄漏事故人員戴自給正壓式呼吸器，處理液氬應(yīng)配帶防凍護(hù)具。若氣瓶泄漏而無法堵漏時(shí)，將氣瓶移至空曠安全處放。二、防護(hù)措施呼吸系統(tǒng)防護(hù)：一般不需特殊防護(hù)。但當(dāng)作業(yè)場(chǎng)所空氣中氧氣濃度低于18%時(shí)，必須佩戴空氣呼吸器、氧氣呼吸器或長(zhǎng)管面具[
儲(chǔ)存注意
儲(chǔ)存于通風(fēng)庫房，遠(yuǎn)離火種、熱源；氣瓶應(yīng)有防
倒措施。大于10立方米低溫液體儲(chǔ)槽不能放在室內(nèi)。瓶裝氣體產(chǎn)品為高壓充裝氣體，使用時(shí)應(yīng)經(jīng)減壓降壓后方可使用。包裝的氣瓶上均有使用的年限，凡到期的氣瓶必須送往有部門進(jìn)行安全檢驗(yàn)，方能繼續(xù)使用。每瓶氣體在使用到尾氣時(shí)，應(yīng)保留瓶?jī)?nèi)余壓在0.5MPa，  小不得低于0.25MPa余壓，應(yīng)將瓶閥關(guān)閉，以保證氣體質(zhì)量和使用安全。瓶裝氣體產(chǎn)品在運(yùn)輸儲(chǔ)存、使用時(shí)都應(yīng)分類堆放，嚴(yán)禁可燃?xì)怏w與助燃?xì)怏w堆放在一起，不準(zhǔn)靠近明火和熱源，應(yīng)做到勿近火、勿沾油臘、勿爆曬、勿重拋、勿撞擊，嚴(yán)禁在氣瓶身上進(jìn)行引弧或電弧，嚴(yán)禁野蠻裝卸。
消防注意
滅火方法：本品不燃。切斷氣源。噴水冷卻容器，可能的話將容器從火場(chǎng)移至空曠處 [4]
貯運(yùn)注意事項(xiàng)
在貯運(yùn)過程中輕裝輕卸,嚴(yán)防碰損,防止高溫。氬氣沒有腐蝕性,在常溫下可使用碳鋼、不銹鋼、銅、銅合金、等通用金屬材料及一般的塑性材料和彈性材料。在低溫下常用聚四氟乙烯和聚三氟氯化乙烯聚合體來作墊圈、隔膜等