聚對二甲苯是由Specialty Coating Systems( Indianpolis,IL)公司提供的標(biāo)記聚對二甲苯基家族聚合物的一種化學(xué)名稱，是初發(fā)明聚對二甲苯的UnionCarbide公司認(rèn)可的命名。商業(yè)上存在一些聚對二甲苯的替代物，它們的成分和聚對二甲苯一致，只是在合成路徑上因初始二聚體(對二甲苯二聚物)而有不同。然而，Spe-cialtyCoatingSystems版本是當(dāng)前被美國食品及藥物管理局(FDA)所批準(zhǔn)的版本。聚對二甲苯是一種USP(UnitedStatesPharmacopeia,美國藥典)VI族材料，適合長期植入人體，所以是在醫(yī)療產(chǎn)業(yè)歷史上十分有名的生物相容涂層材料?？梢詮暮芏喾矫鏅z查其生物相容性，它的生物穩(wěn)定性、低細(xì)胞毒性和抗水解性是其在醫(yī)療產(chǎn)業(yè)被廣泛應(yīng)用的關(guān)鍵屬性。

聚對二甲苯是由Swarc在1947年合成的，但是由于要開發(fā)一種合適的淀積工藝延緩了它進(jìn)人商業(yè)化的時間，直到1965年才被應(yīng)用。其關(guān)鍵的工藝發(fā)明人是UnionCarbide公司的Gorham，他主要的貢獻(xiàn)包括開發(fā)一種穩(wěn)定的二聚體前體和氣相淀積聚合工藝。超過20種聚對二甲苯被合成出來，但是只有4種(N,C,D和HT型)是可用的，另外2種可供使用的是diXA和AM(日本Kishi-motoSangyo公司)。

聚對二甲苯的物理氣相淀積是在真空腔中實施的，進(jìn)入氣化室時呈顆粒狀。以C型聚對二甲苯為標(biāo)準(zhǔn)，溫度逐漸升高到150%C，這是二聚體的初始溫度。接著，聚對二甲苯被熱解使其二聚體裂成單自由基對二甲苯(650℃)。在淀積室內(nèi)(25℃)，單體聚集到所有裸露面上，以約5μm/h的速率聚合成C型聚對二甲苯。*近研制出一種通過在淀積室改進(jìn)樣品添加裝置來直接淀積聚對二甲苯為納米結(jié)構(gòu)薄膜的工藝。

聚對二甲苯化學(xué)性質(zhì)不活潑，表面涂層保形，而且是一種很好的聚合物絕緣層。歷史上，它被用作醫(yī)用涂料、植入式神經(jīng)絲探針的絕緣層、層間電介質(zhì)，并且在1997進(jìn)入MEMS領(lǐng)域，成為流體互連的涂層材料。聚對二甲苯因其淀積方式(真空中)、無針孔淀積、低加工溫度、透明度和微加工工藝的兼容性成為一種流行的標(biāo)準(zhǔn)MEMS材料。自其進(jìn)人MEMS領(lǐng)域以來，已被開發(fā)成各種各樣MEMS應(yīng)用中的結(jié)構(gòu)材料。聚對二甲苯的碳化/裂化和離子注入工藝也被應(yīng)用于MEMS中作為犧牲或傳感材料。聚對二甲苯結(jié)構(gòu)的進(jìn)一步改進(jìn)已經(jīng)在研究中，特別是在生物學(xué)和生物醫(yī)學(xué)應(yīng)用方面。

在MEMS應(yīng)用中，聚對苯薄膜表現(xiàn)出一些非常有用的特性。這些特性包括：非常低的內(nèi)應(yīng)力、可以在室溫下淀積、保角涂覆、化學(xué)惰性以及刻蝕選擇性。聚對二甲苯膜用作電絕緣層、化學(xué)防護層、保護層和密封層是十分理想的。聚對二甲苯已用來做微流控溝道、閥門和傳感器(加速度傳感器，壓力傳感器，麥克風(fēng)和切應(yīng)力傳感器)。通常采用控制二聚物的量來調(diào)控聚對二甲苯覆蓋層的厚度。在原位探測聚對二甲苯厚度的監(jiān)控器與末端探測器已經(jīng)研制出來。