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射頻離子源 RFICP 140

KRI 射頻離子源 RFICP 140
上海伯東代理美國原裝進口 KRI 射頻離子源 RFICP 140 是一款緊湊的有柵極離子源,非常適用于離子束濺射沉積, 離子輔助沉積和離子束刻蝕. 在離子束濺射工藝中，射頻離子源 RFICP 140 配有離子光學元件, 可以很好的控制離子束去濺射靶材,實現(xiàn)更佳的薄膜特性. 同樣的在離子束輔助沉積和離子束刻蝕工藝中, 離子光學元件能夠完成發(fā)散和聚集離子束的任務. 就標準的型號而言,可以在離子能量為 100~1200 eV 范圍內(nèi)獲得很高的離子密度. 可以輸出*大 600 mA 離子流.
射頻離子源 RFICP140

KRI 射頻離子源 RFICP 140 技術參數(shù):

陽極

電感耦合等離子體
1kW & 1.8 MHz
射頻自動匹配

*大陽極功率

1kW

*大離子束流

> 500mA

電壓范圍

100-1200V

離子束動能

100-1200eV

氣體

Ar, O2, N2,其他

流量

5-40sccm

壓力

< 0.5mTorr

離子光學, 自對準

OptiBeamTM

離子束柵極

14cm Φ

柵極材質(zhì)

鉬, 石墨

離子束流形狀

平行,聚焦,散射

中和器

LFN 2000

高度

25.1 cm

直徑

24.6 cm

鎖緊安裝法蘭

12”CF

KRI 射頻離子源 RFICP 140 應用領域：
預清洗
表面改性
輔助鍍膜(光學鍍膜)IBAD,
濺鍍和蒸發(fā)鍍膜 PC
離子濺射沉積和多層結構 IBSD
離子蝕刻 IBE
1978 年 Dr. Kaufman 博士在美國創(chuàng)立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研發(fā)生產(chǎn)考夫曼離子源, 霍爾離子源和射頻離子源. 美國考夫曼離子源歷經(jīng) 40年改良及發(fā)展已取得多項專利. 離子源廣泛用于離子清洗 PC, 離子蝕刻 IBE, 輔助鍍膜 IBAD, 離子濺射鍍膜 IBSD 領域,上海伯東是美國考夫曼離子源中國總代理.

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上海伯東: 羅先生                               中國臺灣伯東: 王女士
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關鍵詞

上海伯東代理 , 美國原裝進口 , KRI , 射頻離子源 , RFICP , 140

更新時間2023-04-12 09:43

伯東企業(yè)(上海)有限公司已認證

成立日期: 1995年12月01日
法定代表人: 大塚通史（OTSUKA NAOHITO）
注冊資本: 1550

主營產(chǎn)品

氦質(zhì)譜檢漏儀，質(zhì)譜儀，渦輪分子泵，真空計,真空閥門離子源,高低溫測試機, 高頻感應加熱設備等真空產(chǎn)品

經(jīng)營范圍

電子接插件、線束和印刷電路板以及傳真機，復印機，照相機，掃描儀用石英玻璃的生產(chǎn)加工，銷售和售后服務；精密儀器、設備的維修，上述產(chǎn)品同類商品及化學產(chǎn)品，塑料、橡膠（天然橡膠除外）及其制品，木漿及其他纖維狀纖維素漿、紙及紙制品，陶瓷制品，紡織原料（棉花除外）、玻璃及其制品，賤金屬及其制品（鋼鐵除外），音像設備及其零配件，光學、攝影設備及其零配件，照明器具的批發(fā)，

公司簡介

伯東公司成立于1953 年，全球范圍內(nèi)有一千七百名員工。伯東企業(yè)(上海)有限公司(www.hakuto-vacuum.cn)主要從事半導體設備、電子零部件加工、銷售及相關服務工作，集團年營業(yè)額約為100億人民幣。伯東公司在國內(nèi)主要城市：北京、蘇州、廣州、深圳、成都及廈門設有營業(yè)據(jù)點。上海伯東真空產(chǎn)品事業(yè)部秉承為廣大中國客戶提供世界一流的真空產(chǎn)品、推動中國真空工藝發(fā)展、承擔企業(yè)社會責任為經(jīng)營理念，已累計為超過10,000家企業(yè)提供真空服務...

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