FS4001小流量氣體質(zhì)量流量傳感器 產(chǎn)品簡介：FS4001小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設(shè)計的。這系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔氣體。獨特的封裝技術(shù)使之可用于各類管徑，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器。產(chǎn)品特點： - 傳感器靈敏度高,有極小的始動流量 - 傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計量,無需溫度壓力補償,保證了傳 - 感器的高精度計量- 在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成,使傳感器的量程比大大提高 - 傳感器的零點穩(wěn)定度高 - 全量程高穩(wěn)定性 -全量程高精度和優(yōu)良的重復性 - 低功耗 - 低壓損 - 響應時間快 主要參數(shù)： 性能參數(shù) FS4001 單位 通 徑 1.0 1.8mm 大流量 30, 100, 200 500, 1000 SCCM 量程比 ≥100:1 精 度 ±(1.5+0.2FS) %重復性 0.25 %讀數(shù) 零點輸出飄移 ±30 mV 輸出飄移 ±0.12 %/oC 響應時間 4, 8, 16, 33 , 65 ,131 mses 工作電源 8~18Vdc,50mA 輸出方式 線性，RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc 大流量壓損 350300 pa 大工作壓力 0.5 MPa 工作溫度 -10 ~ +55 oC 存儲溫度 -20 ~ +65 oC 工作濕度<95%RH（無結(jié)冰、無凝露） 機械接口 可拆式軟管接頭 校準方式 空氣（或其他氣體），20oC，101.325kPa 重量15 g