美國InstrutechCCM502型冷陰極雙反磁控電離真空計，內(nèi)置控制器，提供一個對數(shù)線性模擬輸出，一個傳感器的狀態(tài)輸出，為各種過程控制方案提供了很大的靈活性。傳感器采用緊湊的金屬設計，簡單而堅固，適用于多種工業(yè)應用。在陽極安裝了一個輔助傳感器裝置，節(jié)省了冷陰極傳感器啟動時間。超低雜散磁場的專利設計，超越了冷陰極傳統(tǒng)的應用，擴大了冷陰極技術使用范圍，例如：CCM502可以將冷陰極傳感器與對外部磁場敏感的常規(guī)冷陰極真空計組合使用，這種新型磁場設計也允許CCM502使用在強磁場中。雙腔傳感器組件可互換避免清洗，減少維護，從而使CCM502成為可靠和經(jīng)濟型的真空計。重質(zhì)氣體建議使用低電流集電極版本，如氬氣，以防止自濺射，而高電流的版本使用推薦氣體，如氮氣/空氣。卓越的傳感器設計和增強的信號處理技術為整個真空測量提供了和穩(wěn)定的壓力讀數(shù)。
 
產(chǎn)品特色
●低雜散磁場專利技術
●在惡劣環(huán)境下，使用壽命長
●內(nèi)置控制器，對數(shù)線性模擬輸出
●雙傳感器可互換，零維護- 可換插頭
●抗腐蝕饋入裝置
●超緊湊尺寸
●可靠的快速傳感器設計
 
行業(yè)應用
●真空爐
●分析儀器
●真空鍍膜
●半導體
●大學科研
●工業(yè)-激光
●醫(yī)療
 
性能指標
測量范圍：7.6×10-10～1×10-2Torr
1.3×10-9～1.3×10-2 mbar
1.3×10-7～1.3Pa
精度（N2）:7.6×10 ～7.6×10 Torr:±30%讀數(shù)
重復性:7.6×10 ～7.6×10 Torr:±5%讀數(shù)
暴露在真空的材質(zhì)：鎳合金、氧化鋁、不銹鋼、玻璃
內(nèi)部容積：22.8cm (1.391in )
容許壓力：145psi，10bar絕壓（于惰性氣體＜50℃）
溫度：工作溫度：＋5～＋55℃；存儲溫度：-40～70℃
烘烤溫度（法蘭）：150℃（于表，電子元件移除）
相對濕度：
7.6×10-8～7.6×10-3Torr 0～95% 相對濕度，非冷凝
7.6×10-9～7.6×10 -3Torr 0～70% 相對濕度，非冷凝
重量：0.28kg(0.61 lb.)（NW25KF接口）
外殼：鋁擠壓
安裝方式：任意
模擬輸出：對數(shù)線性0～8Vdc，1V/十進制
錯誤信號：模擬輸出開關≥10V
響應時間：p＝7.6×10 Torr ～1秒
p＞7.6× 10-7Torr ＜100毫秒
輸出狀態(tài)：冷陰極開關狀態(tài)由打開集電極晶體管決定
（30V，VCE，大100mA，IC）
晶體管關=傳感器關，晶體管開=傳感器開
供電電源：14.5～30Vdc，2W電源反接和過壓保護
電源電壓紋波：≤1Vp-p
測量室高電壓：工作電壓（陽極）：≤3.3KV
傳感器電壓（陽極）：≤4.5KV
測量室電流：低電流集電極版本≤100μA
高電流集電極版本≤500μA
電氣連接：9針D型外螺紋
CE認證：EMC(EN61000-6-2, EN61000-6-3
EN61010-1, EN61326-1)
環(huán)境認證：RoHS認證