（一）EV繼電器半成品氦檢漏

采用負壓噴氦法檢漏（如圖3），一般檢漏過程如下：

1. 把工件安裝在檢漏儀工裝上，工裝的下端與檢漏儀檢漏口直接連接；

2. 通過儀器自帶的真空系統(tǒng)對工件抽真空；

3. 待儀器面板本底漏率值下降到指定漏率值后，在工件外表面噴吹一定量的氦氣，開始檢漏；

4. 若儀器顯示漏率值一直低于設(shè)定漏率值，則當前被檢工件泄漏指標合格；

5. 若被檢工件泄漏不達標，儀器顯示漏率值高于設(shè)定漏率值，并發(fā)出聲報警，屏幕跳紅，提醒檢測人員注意。

（二）EV繼電器成品氦檢漏

通常采用負壓噴氦法或簡易真空箱法兩種方法檢漏。

負壓噴氦法（如圖3）是將EV繼電器的的充氣口銅管和氦檢儀的檢漏口直接連接，具體檢漏過程與半成品檢漏一樣。檢漏結(jié)束通過銅管對合格被檢件內(nèi)部充入工藝氣體后然后剪斷封口。此方法無法檢測銅管剪口處的泄漏情況，對工藝要求很高。

簡易真空箱法檢漏（如圖4）就是先密封氦氣到產(chǎn)品內(nèi)部，然后將產(chǎn)品放入與檢漏儀檢漏口連接的小型檢漏容器（俗稱檢漏罐或檢漏盒）中檢漏。在檢EV繼電器成品時，將被檢件內(nèi)部充入工藝氣體及少量氦氣后，剪斷注氣銅管并密封好后放入檢漏罐中。隨后對檢漏罐進行抽空，如果銅管沒有密封好或者被檢件本身泄漏不達標，儀器發(fā)出聲光報警提示不合格。

              圖4 簡易真空箱檢漏

安徽歌博科技有限公司推出的氦質(zhì)譜檢漏儀工作臺可以極大地提高EV繼電器產(chǎn)品檢漏效率。還可根據(jù)客戶具體要求設(shè)計雙/多工位工作臺，滿足每個工位單次測量多個工件。