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晶振加工過程中造成DLD不良的主要因素
1.諧振子表面存在微粒污染。主要產(chǎn)生原因?yàn)樯a(chǎn)環(huán)境不潔凈或非法接觸晶片表面;
2.諧振子的機(jī)械損傷。主要產(chǎn)生原因?yàn)檠心ミ^程中產(chǎn)生的劃痕。
3.電極中存在微?;蜚y球。主要產(chǎn)生原因?yàn)檎婵帐也粷崈艉湾兡に俾什缓线m。
4.裝架是電極接觸不良;
5.支架、電極和石英片之間存在機(jī)械應(yīng)力。