韓國工業(yè)技術(shù)研究院（KITECH）聯(lián)合平澤市、平澤產(chǎn)業(yè)振興院及ISG公司在京畿道平澤市平澤大學(xué)內(nèi)建成“半導(dǎo)體環(huán)保設(shè)備開放實(shí)驗(yàn)室”，并于近日舉行啟用儀式。該實(shí)驗(yàn)室按中試規(guī)模復(fù)現(xiàn)真實(shí)半導(dǎo)體制造工藝環(huán)境，專為中小企業(yè)提供毒氣減排設(shè)備的性能驗(yàn)證服務(wù)。

半導(dǎo)體制造過程會(huì)產(chǎn)生溫室氣體及多種有毒氣體，相關(guān)環(huán)保設(shè)備需具備穩(wěn)定、長效的污染物削減能力。但多數(shù)中小企業(yè)長期受限于缺乏貼近產(chǎn)線的實(shí)際工況測(cè)試條件，難以完成技術(shù)驗(yàn)證并進(jìn)入供應(yīng)鏈。

實(shí)驗(yàn)室配備濕式洗滌塔、靜電除塵器及廢氣分析儀，可實(shí)時(shí)測(cè)量二氧化氮（NO?）等有毒氣體的去除效率；其中濕式洗滌塔利用液體去除廢氣污染物，靜電除塵器則通過電場(chǎng)力捕集細(xì)微顆粒，二者協(xié)同支持企業(yè)精準(zhǔn)評(píng)估設(shè)備在類產(chǎn)線條件下的污染物處理效能與運(yùn)行穩(wěn)定性。

KITECH還計(jì)劃將通過驗(yàn)證的企業(yè)技術(shù)對(duì)接半導(dǎo)體終端用戶，推動(dòng)形成“技術(shù)驗(yàn)證—商業(yè)化—區(qū)域供應(yīng)鏈準(zhǔn)入”的閉環(huán)，使該設(shè)施超越單一測(cè)試功能，發(fā)展為區(qū)域性示范樞紐。

資料來源：The Herald Business；原文發(fā)布日期：2026-11-02。本文為資料編譯。