運(yùn)動(dòng)控制組件供應(yīng)商ETEL于10月13日宣布推出METIS HP。這是一款專為步進(jìn)掃描半導(dǎo)體應(yīng)用（包括直寫激光技術(shù)與高分辨率光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)）設(shè)計(jì)的全氣浮平面平臺(tái)，旨在結(jié)合高速度與高穩(wěn)定性，滿足下一代無掩模光刻對(duì)大面積基板的加工需求。

該平臺(tái)支持Zui大600毫米×600毫米的面板尺寸。核心采用多自由度（mDoF）海德漢（HEIDENHAIN）編碼器，確保精度不受熱漂移影響，并實(shí)現(xiàn)投影工具點(diǎn)測(cè)量功能。經(jīng)映射后，其XY行程精度可達(dá)±150納米，在Zui高1米/秒速度下動(dòng)態(tài)直線度保持±150納米，動(dòng)態(tài)加速度Zui高達(dá)20米/秒2。這些性能有助于縮短周轉(zhuǎn)時(shí)間，提升步進(jìn)掃描應(yīng)用的設(shè)備吞吐量。

在觸發(fā)信號(hào)方面，ETEL控制器可模擬TTL位置信號(hào)作為觸發(fā)事件，為傳統(tǒng)干涉儀提供了更具成本效益的替代方案。該架構(gòu)無需在滑板上額外加裝反射鏡，避免了空氣透鏡效應(yīng)或氣流擾動(dòng)，同時(shí)降低了系統(tǒng)成本。針對(duì)先進(jìn)封裝的高端檢測(cè)需求，平臺(tái)配備的高帶寬4自由度模塊可對(duì)Z軸、俯仰、傾斜和Theta軸進(jìn)行精細(xì)控制。

METIS HP現(xiàn)已開放OEM集成。ETEL將在10月13日至15日于舊金山舉辦的SEMICON West展會(huì)海德漢展臺(tái)（1639號(hào)）展示該產(chǎn)品。更多技術(shù)詳情可通過ETEL官網(wǎng)獲取。

資料來源：Yahoo! Finance；原文發(fā)布日期：2026-10-13。本文為資料編譯。