日本產業(yè)技術綜合研究所（AIST）研究人員開發(fā)出一款新型表面輪廓測量設備，能夠以非接觸方式高精度測量光學元件的表面輪廓。

高精度曲面鏡廣泛應用于極紫外（EUV）光刻系統、同步輻射設施、天文望遠鏡及引力波探測器等設備中，其幾何精度直接影響儀器性能。在光學元件制造過程中，準確測定包含曲率半徑等參數的表面輪廓至關重要，以便后續(xù)進行表面修正。然而，以往在不損傷表面的前提下，對這類曲面鏡實現數納米級別的輪廓測量一直存在困難。

該新系統通過分析反射光方向，能夠在寬角度范圍內測量曲面上各位置的局部角度（斜率）。由于局部角度對應表面輪廓的變化，系統可通過計算沿表面的分布得出表面輪廓。為高精度捕捉反射光方向，設備集成了具備角度刻度誤差自動校正功能的高精度角度測量裝置（SelfA）。

該技術實現了此前難以完成的曲面鏡表面輪廓非接觸高精度測量，測量精度達到2納米。此項技術有望作為基礎支撐技術，推動極紫外光刻系統及同步輻射設施所用超高精度光學元件的制造、開發(fā)與評估，進而促進高性能光學系統的進步。