神榮科技株式會(huì)社（以下簡(jiǎn)稱神榮科技）將于9月16日至18日出席「INTERMEASURE 2026」（第32屆計(jì)量計(jì)測(cè)展），在濕度與水分測(cè)量及傳感器研究協(xié)會(huì)展位進(jìn)行展示。

本次展出的核心產(chǎn)品包括小型CRDS微量水分計(jì)「DewTracer mini CRDS」與英國公司的低露點(diǎn)校正裝置「FPG」。前者依托日本產(chǎn)業(yè)技術(shù)綜合研究所（產(chǎn)總研）的共同研究成果開發(fā)，后者經(jīng)歐洲計(jì)量研究項(xiàng)目評(píng)估后實(shí)用化。兩者組合將構(gòu)成一套可在極低露點(diǎn)領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)校準(zhǔn)的系統(tǒng)。

該系統(tǒng)主要針對(duì)半導(dǎo)體制造等工業(yè)領(lǐng)域?qū)Ω呒兌葰怏w（如氮?dú)?、氬氣）的微量水分管理需求。在這些工藝中，水分被視為雜質(zhì)，需控制在ppb（十億分之一）級(jí)別。傳統(tǒng)針對(duì)-100℃DP（露點(diǎn)）區(qū)域的校準(zhǔn)設(shè)備通常重達(dá)百公斤以上，且造價(jià)高達(dá)數(shù)千萬至數(shù)億日元。新推出的可攜帶型極露點(diǎn)校準(zhǔn)系統(tǒng)通過縮小體積與降低成本，實(shí)現(xiàn)了設(shè)備的便攜化，便于在不同現(xiàn)場(chǎng)直接開展-100℃DP級(jí)別的校準(zhǔn)作業(yè)。

露點(diǎn)（DP）指氣體冷卻至水蒸氣飽和并開始凝結(jié)成水滴的溫度，該數(shù)值越低代表氣體越干燥。-100℃DP意味著氣體需冷卻至極寒環(huán)境才會(huì)結(jié)露，屬于水分被極限去除的狀態(tài)。神榮科技表示，將通過市場(chǎng)部署這套經(jīng)性能與可靠性驗(yàn)證的小型CRDS水分計(jì)與低露點(diǎn)校正器組合方案，以解決現(xiàn)場(chǎng)校準(zhǔn)難題，并持續(xù)通過自主研發(fā)與國際合作伙伴的協(xié)同推進(jìn)次世代產(chǎn)業(yè)發(fā)展。