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普森精密主軸工業(yè)公司榮獲第31屆中國(guó)臺(tái)灣精品獎(jiǎng),成為主軸制造業(yè)內(nèi)首家獲此肯定的企業(yè)。該公司針對(duì)半導(dǎo)體及電動(dòng)車等目標(biāo)產(chǎn)業(yè),開(kāi)發(fā)出結(jié)合周邊系統(tǒng)的整合性新產(chǎn)品“氣靜壓精密主軸PDMS系列”,以滿足半導(dǎo)體晶圓切割、減薄及研磨等高精度加工需求。

氣靜壓主軸通過(guò)高壓氣體注入主軸與軸承的微小間隙,使主軸懸浮于中央,在近乎無(wú)摩擦狀態(tài)下實(shí)現(xiàn)超過(guò)10萬(wàn)RPM的高速運(yùn)轉(zhuǎn)。普森研發(fā)的PDMS系列突破傳統(tǒng)設(shè)計(jì)框架,利用氣體黏度僅為潤(rùn)滑油千分之一的特性,搭配氣壓流道結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),在主軸內(nèi)部形成具備承載剛性的氣壓軸承。該系列產(chǎn)品具備三大特性:一是環(huán)保無(wú)油,以外部氣體經(jīng)微孔進(jìn)入定轉(zhuǎn)子間隙產(chǎn)生靜壓浮升取代傳統(tǒng)油脂潤(rùn)滑鋼珠軸承,有效避免油料對(duì)制程環(huán)境的污染;二是零磨耗高速運(yùn)轉(zhuǎn),以內(nèi)藏高效率馬達(dá)直接驅(qū)動(dòng)維持百分百動(dòng)力傳遞,轉(zhuǎn)速可達(dá)60,000rpm,配合氣體軸承設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)真正零磨耗以降低能源損失;三是智能化,內(nèi)建溫度與震動(dòng)等傳感器,便于客戶實(shí)時(shí)掌握設(shè)備狀態(tài)并調(diào)整參數(shù)以提升產(chǎn)出品質(zhì)。

普森精密主軸產(chǎn)品涵蓋氣靜壓主軸、車床主軸、加工中心機(jī)主軸、磨床主軸等,目前行銷美國(guó)、德國(guó)、日本、中國(guó)、印度等全球20余個(gè)國(guó)家。為落實(shí)“制造業(yè)服務(wù)化”理念,公司開(kāi)發(fā)了遠(yuǎn)距離主軸異常檢測(cè)技術(shù),可透過(guò)Zui新檢測(cè)技術(shù)進(jìn)行高速主軸自動(dòng)化異音監(jiān)測(cè),構(gòu)建異音、壽命及缺陷檢測(cè)分析模型,提供從接單、設(shè)計(jì)、生產(chǎn)到售后服務(wù)的整體解決方案。普森將于SEMI 2026半導(dǎo)體展南港館1樓Q5352攤位展出相關(guān)產(chǎn)品。

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