分子束外延(mbe)是一種晶體生長技術(shù)，將半導(dǎo)體襯底放置在超高真空腔體中，和將需要生長的單晶物質(zhì)按元素的不同分別放在噴射爐中，由分別加熱到相應(yīng)溫度的各元素噴射出的分子流能在襯底上生長出極薄的，可薄至單原子層水平，單晶體和幾種物質(zhì)交替的超晶格結(jié)構(gòu)。
分子束外延主要研究的是不同結(jié)構(gòu)或不同材料的晶體和超晶格的生長。該方法生長溫度低，能嚴格控制外延層的層厚組分和摻雜濃度。
分子束外延系統(tǒng)對真空度要求及其高，對真空腔體的密封性、材料放氣率、微量雜質(zhì)氣體和水蒸氣比較敏感，本系統(tǒng)采用上海伯東德國 pfeiffer 殘氣質(zhì)譜儀 qmg 對超高真空腔體進行檢漏，及材料放氣組分及水汽進行分析，確保超高真空及真空的穩(wěn)定性，對晶格的生長起到很好的作用。
客戶案例：上海某研究所 mbe 超高真空系統(tǒng)

系統(tǒng)運行條件：
1. 主要針對 zno 等金屬氧化物外延生長
2. 超高真空生長室，配有上海伯東德國 pfeiffer殘余氣體分析質(zhì)譜儀 qmg+液氮冷屏;
3. 配有12個加熱泄流源.
4. 襯底加熱器加熱溫度1200℃
5. sic 襯底加熱器可以在氧氣環(huán)境下工作;
6. 線型進樣室實現(xiàn)全自動送片 

配套mg 殘余氣體分析質(zhì)譜儀配置:
1.測量范圍:1-100amu
2.檢測器:faraday/c-sem
3.烘烤溫度:200℃
4.離子源:grid ion source
5.燈絲:yttriated iridium
6.配有軟件及i/o模塊

pfeiffer 殘余氣體質(zhì)譜分析儀與友廠同級別質(zhì)譜分析儀相比，更適用于移動應(yīng)用，并且提供高解析度和靈敏度，可對氣體進行定性和定量分析，應(yīng)用范圍廣泛，從大氣壓力到高真空均可使用。

上海伯東主要經(jīng)營產(chǎn)品:德國普發(fā) pfeiffer 渦輪分子泵,干式真空泵,羅茨真空泵,旋片真空泵:應(yīng)用于各種條件下的真空計，氦質(zhì)譜檢漏儀，質(zhì)譜分析儀，以及美國考夫曼公司 kri 離子源 離子槍 霍爾源，美國hva真空閥門，polycold冷凍機等

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