韓國設(shè)備材料企業(yè)KC Tech正式進(jìn)入SK海力士半導(dǎo)體制造設(shè)備供應(yīng)鏈——其自主研發(fā)的超臨界清洗設(shè)備（supercritical cleaning e）已通過SK海力士全部設(shè)備評估流程，預(yù)計(jì)Zui早于2024年下半年啟動(dòng)交付。該設(shè)備將優(yōu)先部署于SK海力士位于韓國京畿道永仁市的Fab 1新廠，設(shè)備安裝計(jì)劃始于2025年2月。這是SK海力士首次向三星電子體系外的韓國本土供應(yīng)商采購該類高端清洗設(shè)備。

超臨界清洗設(shè)備處于半導(dǎo)體前道工藝裝備的中游核心環(huán)節(jié)，專用于10納米級及以下DRAM晶圓的無損傷干燥清洗。此前全球僅有日本東京電子（TEL）實(shí)現(xiàn)商業(yè)化量產(chǎn)，而三星電子旗下SEMES雖于2017年全球首發(fā)該技術(shù)，但內(nèi)部供應(yīng)。SK海力士長期依賴TEL單一來源，采購議價(jià)能力受限；2017年后曾主動(dòng)接觸SEMES尋求替代，但因隸屬三星體系未達(dá)成合作。KC Tech此次突破，標(biāo)志著韓國本土在超臨界清洗這一高壁壘細(xì)分領(lǐng)域首次形成可量產(chǎn)、可驗(yàn)證、可交付的第二供應(yīng)源。

技術(shù)原理與工藝性

超臨界狀態(tài)指物質(zhì)在超過其臨界溫度與臨界壓力時(shí)呈現(xiàn)的特殊相態(tài)，兼具液體高溶解性與氣體強(qiáng)滲透性。KC Tech設(shè)備采用二氧化碳基超臨界流體，在高壓下滲入線寬小于30納米的DRAM堆疊結(jié)構(gòu)間隙，溶解殘留光刻膠與金屬離子污染物，再通過等壓降壓實(shí)現(xiàn)無旋轉(zhuǎn)干燥——徹底規(guī)避傳統(tǒng)旋轉(zhuǎn)甩干導(dǎo)致的微結(jié)構(gòu)坍塌、橋接或圖案變形。相較化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）設(shè)備或濕法清洗站，該設(shè)備不依賴物理接觸或高速離心，對高深寬比（HAR）溝槽、三維堆疊電容等先進(jìn)結(jié)構(gòu)具備唯一適配性。

據(jù)行業(yè)消息，KC Tech單臺設(shè)備報(bào)價(jià)約為100億韓元（約合5300萬元人民幣），顯著高于主流CMP設(shè)備（約15–25億韓元）和濕法清洗站（約8–12億韓元）。高價(jià)源于其核心部件：超高壓不銹鋼反應(yīng)腔體（耐壓≥30MPa）、精密溫壓耦合控制系統(tǒng)、專用超臨界CO?純化模塊及定制化晶圓載具。設(shè)備需通過SK海力士嚴(yán)格的顆粒殘留（≤0.1 particles/μm）、膜厚均勻性（±1.5%）及批次穩(wěn)定性（CPK≥1.67）三項(xiàng)硬指標(biāo)測試，認(rèn)證周期長達(dá)半年以上。

本土協(xié)同研發(fā)與產(chǎn)能爬坡節(jié)奏

KC Tech與SK海力士聯(lián)合開發(fā)該項(xiàng)目歷時(shí)約五年，期間KC Tech投入數(shù)十億韓元用于特種合金腔體試制、流體動(dòng)力學(xué)仿真建模及現(xiàn)場工藝迭代。值得注意的是，該項(xiàng)目并非單純設(shè)備銷售，而是深度嵌入SK海力士永仁Fab 1的產(chǎn)線規(guī)劃：設(shè)備交付節(jié)點(diǎn)與潔凈室啟用時(shí)間（2025年2月）嚴(yán)格對齊，首批訂單預(yù)計(jì)覆蓋Fab 1一期產(chǎn)線中至少兩條10納米級DRAM生產(chǎn)線。SK集團(tuán)會(huì)長崔泰源近期明確表示，公司將“全速推進(jìn)”DRAM擴(kuò)產(chǎn)，目標(biāo)五年內(nèi)將晶圓總產(chǎn)能翻倍，并將永仁Fab 1首期潔凈室啟用時(shí)間從原定2027年5月提前至2027年2月——KC Tech恰在此關(guān)鍵窗口期完成認(rèn)證，意味著其設(shè)備將成為SK海力士應(yīng)對2025–2027年DRAM產(chǎn)能躍升的核心工藝保障單元之一。

對國內(nèi)B2B從業(yè)者而言，該事件釋放三重信號：第一，超臨界清洗設(shè)備已從實(shí)驗(yàn)室技術(shù)邁入量產(chǎn)交付階段，中國晶圓廠若規(guī)劃10納米以下DRAM或高帶寬內(nèi)存（HBM）產(chǎn)線，需提前評估該類設(shè)備的進(jìn)口替代路徑與認(rèn)證周期；第二，韓國本土供應(yīng)鏈正加速構(gòu)建非三星系高端裝備能力，KC Tech模式（綁定IDM客戶聯(lián)合開發(fā)+聚焦單一高壁壘工序）值得國內(nèi)設(shè)備廠商參考；第三，該設(shè)備所依賴的超高壓密封件、特種不銹鋼管材、高純CO?供應(yīng)系統(tǒng)等上游部件，目前仍高度依賴日本、德國進(jìn)口，相關(guān)材料與核心零部件的國產(chǎn)化進(jìn)度將直接影響后續(xù)擴(kuò)產(chǎn)節(jié)奏。

當(dāng)前，SK海力士永仁Fab 1項(xiàng)目已進(jìn)入設(shè)備密集進(jìn)場階段，超臨界清洗設(shè)備作為前道清洗環(huán)節(jié)的“Zui后一道防線”，其交付穩(wěn)定性直接關(guān)聯(lián)產(chǎn)線良率爬坡速度。對于面向韓國市場的中國設(shè)備配套商，需重點(diǎn)關(guān)注KC Tech后續(xù)是否開放二級供應(yīng)商認(rèn)證——其高壓流體控制模塊、定制化晶圓托盤及本地化服務(wù)網(wǎng)絡(luò)，存在明確的分包與協(xié)作機(jī)會(huì)。