代表系統(tǒng)有：三坐標(biāo)測量儀；點(diǎn)激光測量儀；關(guān)節(jié)臂掃描儀（精度不高）通過每一次的測量點(diǎn)反映物體表面特征，優(yōu)點(diǎn)是精度高，但速度慢，如果要做逆向工程，只能在測量高精密形位公差要求的物體上有優(yōu)勢。

定義：適合做物體表面形位公差檢測用。

第二種三維掃描儀：線測量

代表系統(tǒng)有：三維臺式激光掃描儀，三維手持式激光掃描儀，關(guān)節(jié)臂+激光掃描頭。通過一段（一般為幾公分，激光線過長會發(fā)散）有效的激光線照射物體表面，再通過傳感器得到物體表面數(shù)據(jù)信息。

定義：適合掃描中小件物體，掃描景深小（一般只有5公分），精度較高，此代系統(tǒng)是發(fā)展比較成熟的,其新產(chǎn)品Zui高精度已經(jīng)達(dá)到0.01微米。所以，精度上，其比肩點(diǎn)掃描。速度上已有極大地提高。在高精度工業(yè)設(shè)計領(lǐng)域，將有廣闊用途。

第三種三維掃描儀：面掃描代表系統(tǒng)：拍照式三維掃描儀，三維攝影測量系統(tǒng)等。通過一組（一面光）光柵的位移，再同時經(jīng)過傳感器而采集到物體表面的數(shù)據(jù)信息。

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